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DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用
李智峰湖南金能自动化设备有限公司410012
摘要:本文论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用,该清
洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗技术。本设备是铬版制作中掩膜抛光后
的高精度清洗设备,清洗后的产品干净度可达0.25μm。该产品可以应用于同行业不
同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。
近年来,IC制造业和平板显示制造业在我国的发展很快,高干净度清洗机作为
微电子行业和平板显示行业的关键的设备之一,其技术水平和清洗精度干脆影响我国
电子信息技术的发展。近年来,清洗技术在我国进步很快,但与微电子行业和平板显示
行业的要求相差甚远,与国际先进清洗技术水平相比还较落后。始终以来,高档次的高
干净度清洗机始终被国外少数几家企业所垄断,他们通过高干净度清洗机牢牢限制着
IC制造业和平板显示器的上游尖端行业。研发高干净度清洗机不仅可为集成电路产
品和新型显示器件供应牢靠配套服务,同时也将带动相关技术探讨和产品开发的进步,
有利于提高我国在全球信息化建设中的国际竞争力。我公司的DIP十二工位全自动超
声波清洗机正是在此背景下提出并进行开发与研制的。
设备概述:DIP十二工位全自动超声波清洗机是铬版制作中掩膜抛光后的高精度
清洗设备,在运用碱性溶液清洗剂与中性溶液清洗剂的基础上,采纳中、高频超声波
清洗及高压喷淋相结合的方法,将工件清洗干净,并采纳纯温水提拉脱水保证铬版干
燥。该设备主要由上下料装置、10个清洗槽、机械移送装置、超纯水加热系统、空
气净化系统及自动限制系统六个部分组成。当工件被送至上料工位时,清洗机起先工
作,并按设定程序及工艺从1#工位移送至12#工位,实现工件从粗到精,逐级清洗干
净,产品清洗后的干净度可达0.25μm。该产品可以用于同行业不同的工序或其他行
业要求高精度清洗工序中,是国际领先、国内一流的高干净度清洗设备。
1项目所依据的技术原理论述
超声波清洗原理:超声波以每秒数万次高速震荡在液体中传导,推动介质的作用,
使液体之分子间产生压力改变,造成空化效应,这种多数微小的真空气泡在震荡受压
裂开时,产生强大的冲击力,将清洗物之表面及细缝死角之污物剥离,达到彻底洗净
之功能。超声波清洗机一般由清洗槽体、发振器、电源驱动器构成,槽体用来容纳洗
净液和工件,发振器则是执行电能转化为机械能的装置,通常称为换能器或振子,早
期的清洗机换能器运用的是由电磁振荡型的磁致辞伸缩组件,换能效率较低,运用寿
命短,现在已基本被由压电陶瓷材料构成的压电型换能器替代。压电型换能器是利用
压电材料的逆压电效应原理工作的:压电陶瓷材料有一种特殊的电学特性:在受到外
力作用时,处于压缩或拉伸状态的压电陶瓷两端表面会产生电荷的积累,称为压电效
应;而在两端施加肯定的电压,则会产生伸缩的机械振动,称为逆压电效应,对于压
电陶瓷材料,它的这两种特性是可逆的。由压电陶瓷材料制作的换能器,当施加的电
压按肯定频率改变时,换能器就会产生超声波,这就是压电式超声波换能器产生超声
波的原理。
超声波洗净方式:由于超声波清洗具有独特的机械效应和热效应,对污垢有很
强的分解离散实力,清洗速度快、效率高、质量好,干净度匀称,易于实现自动化,
减轻劳动强度,在现代工业制程中的应用越来越来广泛,特殊适用于多孔及几何形态
困难的工件的除油、除蜡、除锈处理。应用于工业的洗净技术主要有以下方法,在许
多清洗系统中,是由其中几种相互协作而构成一套完整清洗系统:超声波洗净、喷射
洗净、浸渍洗净、循环洗净、有机溶剂洗净、超振动洗净、搅拌摇动洗净、酸洗等。
近年来精密工业洗净和超精密工业洗净,随着光学仪器、精密机械、半导体电子组件、
液晶显示的技术发展有了飞跃性的进步,发展出多种新的超声波洗净技术,如扫频超
声波、复频超声波、兆声超声波等。我们的设备选择用超声波采纳4波段(28KHz、
45KHz、75KHz、100KHz)循环运转。
DIP十二工位全自动超声波清洗机设备描述:该清洗机是一台能完全满意工艺
线路的全自动多波段超声波十槽十二工位清洗机、该清洗机过程由PLC、TFT触摸屏
人机界面限制,有多种电气、机械爱护装置。整套装置为全封闭结构,有便捷的修理
通道、有可拆卸的透亮防静电PVC视察窗,活动检修门及良好的抽排风系统。清洗机
主体采纳全密封结构,清洗机顶部采纳高效空气过滤器吹干净的空气进来,清洗槽侧
面采纳细管路抽风,使清洗机相对室内环境形成正
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