DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用.pdfVIP

DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用

李智峰湖南金能自动化设备有限公司410012

摘要：本文论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用，该清

洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗技术。本设备是铬版制作中掩膜抛光后

的高精度清洗设备，清洗后的产品干净度可达0.25μm。该产品可以应用于同行业不

同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。

近年来，IC制造业和平板显示制造业在我国的发展很快，高干净度清洗机作为

微电子行业和平板显示行业的关键的设备之一，其技术水平和清洗精度干脆影响我国

电子信息技术的发展。近年来,清洗技术在我国进步很快,但与微电子行业和平板显示

行业的要求相差甚远,与国际先进清洗技术水平相比还较落后。始终以来,高档次的高

干净度清洗机始终被国外少数几家企业所垄断，他们通过高干净度清洗机牢牢限制着

IC制造业和平板显示器的上游尖端行业。研发高干净度清洗机不仅可为集成电路产

品和新型显示器件供应牢靠配套服务，同时也将带动相关技术探讨和产品开发的进步，

有利于提高我国在全球信息化建设中的国际竞争力。我公司的DIP十二工位全自动超

声波清洗机正是在此背景下提出并进行开发与研制的。

设备概述：DIP十二工位全自动超声波清洗机是铬版制作中掩膜抛光后的高精度

清洗设备，在运用碱性溶液清洗剂与中性溶液清洗剂的基础上，采纳中、高频超声波

清洗及高压喷淋相结合的方法，将工件清洗干净，并采纳纯温水提拉脱水保证铬版干

燥。该设备主要由上下料装置、10个清洗槽、机械移送装置、超纯水加热系统、空

气净化系统及自动限制系统六个部分组成。当工件被送至上料工位时，清洗机起先工

作，并按设定程序及工艺从1#工位移送至12#工位，实现工件从粗到精，逐级清洗干

净，产品清洗后的干净度可达0.25μm。该产品可以用于同行业不同的工序或其他行

业要求高精度清洗工序中，是国际领先、国内一流的高干净度清洗设备。

1项目所依据的技术原理论述

超声波清洗原理：超声波以每秒数万次高速震荡在液体中传导，推动介质的作用，

使液体之分子间产生压力改变，造成空化效应，这种多数微小的真空气泡在震荡受压

裂开时，产生强大的冲击力，将清洗物之表面及细缝死角之污物剥离，达到彻底洗净

之功能。超声波清洗机一般由清洗槽体、发振器、电源驱动器构成，槽体用来容纳洗

净液和工件，发振器则是执行电能转化为机械能的装置，通常称为换能器或振子，早

期的清洗机换能器运用的是由电磁振荡型的磁致辞伸缩组件，换能效率较低，运用寿

命短，现在已基本被由压电陶瓷材料构成的压电型换能器替代。压电型换能器是利用

压电材料的逆压电效应原理工作的：压电陶瓷材料有一种特殊的电学特性：在受到外

力作用时，处于压缩或拉伸状态的压电陶瓷两端表面会产生电荷的积累，称为压电效

应；而在两端施加肯定的电压，则会产生伸缩的机械振动，称为逆压电效应，对于压

电陶瓷材料，它的这两种特性是可逆的。由压电陶瓷材料制作的换能器，当施加的电

压按肯定频率改变时，换能器就会产生超声波，这就是压电式超声波换能器产生超声

波的原理。

超声波洗净方式：由于超声波清洗具有独特的机械效应和热效应，对污垢有很

强的分解离散实力，清洗速度快、效率高、质量好，干净度匀称，易于实现自动化，

减轻劳动强度，在现代工业制程中的应用越来越来广泛，特殊适用于多孔及几何形态

困难的工件的除油、除蜡、除锈处理。应用于工业的洗净技术主要有以下方法，在许

多清洗系统中，是由其中几种相互协作而构成一套完整清洗系统：超声波洗净、喷射

洗净、浸渍洗净、循环洗净、有机溶剂洗净、超振动洗净、搅拌摇动洗净、酸洗等。

近年来精密工业洗净和超精密工业洗净，随着光学仪器、精密机械、半导体电子组件、

液晶显示的技术发展有了飞跃性的进步，发展出多种新的超声波洗净技术，如扫频超

声波、复频超声波、兆声超声波等。我们的设备选择用超声波采纳4波段(28KHz、

45KHz、75KHz、100KHz)循环运转。

DIP十二工位全自动超声波清洗机设备描述：该清洗机是一台能完全满意工艺

线路的全自动多波段超声波十槽十二工位清洗机、该清洗机过程由PLC、TFT触摸屏

人机界面限制，有多种电气、机械爱护装置。整套装置为全封闭结构，有便捷的修理

通道、有可拆卸的透亮防静电PVC视察窗，活动检修门及良好的抽排风系统。清洗机

主体采纳全密封结构，清洗机顶部采纳高效空气过滤器吹干净的空气进来，清洗槽侧

面采纳细管路抽风，使清洗机相对室内环境形成正