GB_T 28892-2024表面化学分析 X射线光电子能谱 选择仪器性能参数的表述.docxVIP

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中华人民共和国国家标准

GB/T28892—2024/ISO15470:2017代替GB/T28892—2012

表面化学分析X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Descriptionofselectedinstrumentalperformanceparameters

(ISO15470:2017,IDT)

2024-03-15发布2024-07-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

Ⅰ

GB/T28892—2024/ISO15470:2017

目次

前言 Ⅲ

引言 Ⅳ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4缩略语 1

5选择仪器性能参数的表述 1

5.1分析方法 1

5.2样品 1

5.3系统构成 1

5.4X射线源 2

5.5谱仪强度性能和能量分辨 2

5.6谱仪能量标 2

5.7谱仪强度线性 2

5.8谱仪响应函数 2

5.9成像和选区分辨 2

5.10荷电中和 3

5.11变角XPS 3

5.12真空环境 4

参考文献 5

Ⅲ

GB/T28892—2024/ISO15470:2017

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件代替GB/T28892—2012《表面化学分析X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述》,与GB/T28892—2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:

a)更改了术语和定义(见第3章,2012年版的第3章);

b)更改了方法2(见5.9.3,2012年版的5.9.3)。

本文件等同采用ISO15470:2017《表面化学分析X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。

本文件起草单位:厦门荷清教育咨询有限公司、厦门大学。

本文件主要起草人:汤丁亮、李建辉、徐富春、岑丹霞、刘芬、王水菊。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

—GB/T28892—2012;—本次为第一次修订。

Ⅳ

GB/T28892—2024/ISO15470:2017

引言

全球有多家厂商生产X射线光电子能谱仪。尽管每台仪器的XPS分析方法的基本原理是相同的,但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此,通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。本文件提供了一个基本项目单,以使所有X射线光电子能谱仪能以共同的方式来表述。本文件无意取代厂商的说明书,厂商的说明书可以长达30页或更多。本文件目的是使厂商说明书中确定的某些项目具有一致和明确的含义。

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GB/T28892—2024/ISO15470:2017

表面化学分析X射线光电子能谱选择仪器性能参数的表述

1范围

本文件描述了表述X射线光电子能谱仪特定性能参数的方法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

ISO18115(所有部分)表面化学分析词汇(Surfacechemicalanalysis-Vocabulary)

注:GB/T22461.1—2023表面化学分析词汇第1部分:通用术语及谱学术语(ISO1