SJ_T 3328.1-2016 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件.docx

电子产品用高纯石英砂SJ/T3228.1-2016——第1部分：技术条件

中华人民共和国电子行业标准《电子产品用高纯石英砂》第1部分——技术条件

标准编号：SJ/T3228.1-2016

标准状态：现行有效

本标准由中华人民共和国工业和信息化部2016年1月15日发布，2016年6月1是开始实施。

前言

本系列标准计划分下列部分出版：

——SJ/T3228.1

电子产品用高纯石英砂第1部分技术条件；

——SJ/T3228.2

电子产品用高纯石英砂第2部分分析方法通则；

——SJ/T3228.3

电子产品用高纯石英砂第3部分灼烧失量的测定；

——SJ/T3228.4

电子产品用高纯石英砂第4部分二氧化硅的测定；

——SJ/T3228.5

电子产品用高纯石英砂

第5部分铁的测定；

——SJ/T3228.6

电子产品用高纯石英砂

第6部分铜的测定；

——SJ/T3228.7

电子产品用高纯石英砂

第7部分铬的测定；

——SJ/T3228.8

电子产品用高纯石英砂

第8部分铝的测定；

——SJ/T3228.10电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定。

本部分为第1部分。

本部分按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则编写。

本部分代替SJ3228.1-1989。

本部分与SJ3228.1-1989相比，主要技术内容变化如下：

a)增加了引用文件：GB/T6682《分析实验室用水规格和试验方法》、GB/T602《化学试剂杂质测定用标准溶液的准备》、SJ/T10380-2012《工业用酸洗石英砂》、GB/T32650《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》、GB/T8946《塑料编织袋》、GB/T8947《复合塑料编织袋》；

b)修改了产品分级，将原来的二个等级修改为三个等级；

c)修改了粒度范围；

d)杂质含量要求中增加了元素铝、钙、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰含量项目，删除了铅含量、氯含量、

灼烧失重，并修改了原有杂质元素含量技术指标；

e)增加了附录A《石墨炉原子吸收光谱法测定杂质元素含量》；

f)调整了检验规则和标志、包装、运输、贮存的相关要求。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。本部分起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所。

本部分主要起草人：李运强、程尚栩、许振午、栾振祥、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。本部分所代替标准的历次版本发布情况为：——SJ3228.1-1989。

1范围

本部分规定了电子产品用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等。

本部分适用于电子产品用高纯石英砂，可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚等器件。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T8946塑料编织袋

GB/T8947复合塑料编织袋

GB/T32650电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

SJ/T3328.4

电子产品用高纯石英砂第4部分二氧化硅的测定

SJ/T3328.5

电子产品用高纯石英砂第5部分铁的测定

SJ/T3328.6

电子产品用高纯石英砂第6部分铜的测定

SJ/T3328.7

电子产品用高纯石英砂第7部分铬的测定

SJ/T3328.8

电子产品用高纯石英砂第8部分铝的测定

SJ/T3328.10电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定

SJ/T10380工业用酸洗石英砂

3技术要求

3.1外观

电子产品用高纯石英砂为具有一定透明度的白色颗粒，应无异色、肉眼可见的杂质。

3.2二氧化硅含量

二氧化硅含量应符合表1规定。

表1二氧化硅含量

项目

指标

一级

二级

三级

二氧化硅

≥99.9991%

≥99.9990%

≥99.9980%

3.3粒度

粒径应在70μm~350μm范围内。

3.4杂质元素含量

杂质元素含量应符合表2规定。

表2杂质元素含量

杂质元素

允许含量

一级

二级

三级

铝（Al）

≤8.00

≤8.00

≤16.00

钙（Ca）

≤0.5