原创力文档GB_T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置
ICS01.040.29CCSK04
中华人民共和国国家标准
GB/T2900.104—2021/IEC60050-523:2018
电工术语微机电装置
Electrotechnicalterminology—Micro-electromechanicaldevices
(IEC60050-523:2018,Internationalelectrotechnicalvocabulary—
Part523:Micro-eletromechanicaldevices,IDT)
2021-10-11发布
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