GB_T 34178-2017光掩模石英玻璃基板.docxVIP

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中华人民共和国国家标准

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

Silicaglasssubstratesforphotomask

2017-09-07发布2018-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

发布

Ⅰ

GB/T34178—2017

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由中国建筑材料联合会提出。

本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。

本标准起草单位:中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。

本标准主要起草人:吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语。

1

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

1范围

本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T3284—2015石英玻璃化学成分分析方法GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法

GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法JC/T185光学石英玻璃

JC/T655石英玻璃制品内应力检验方法JC/T2205石英玻璃术语

3术语和定义

JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1

总厚度变化totalthicknessvariation;TTV

石英玻璃基板厚度的最大值和最小值间的差。3.2

平整度flatness

石英玻璃基板背表面为理想平面时,例如,背表面放置在一个理想、平坦的平面上,石英玻璃基板正表面相对于规定的基准面的偏差,以测量范围内总的示值读数(TIR)表示。

4要求

4.1规格尺寸及尺寸偏差

4.1.1石英玻璃基板为正方形,形状示意图见图1,常规边长及边长偏差应符合表1的规定。

2

GB/T34178—2017

表1边长偏差单位为毫米

边长l

边长偏差

50.4、63.1、75.8、88.5、101.2、126.6、152.0、177.4、200.0

±0.20

228.6、254.0、304.8

±0.30

说明:

1—质量区;

2—非质量区;

l—石英玻璃基板边长;

R—石英玻璃基板顶角半径。

图1石英玻璃基板形状及顶角形状示意图

4.1.2石英玻璃基板常规厚度为1.50mm、2.30mm、3.05mm、3.80mm、4.57mm、4.60mm、6.35mm。厚度偏差应不超过±0.10mm。

4.1.3石英玻璃基板总厚度变化应符合表2的规定。

表2总厚度变化(TTV)

边长l

mm

总厚度变化(TTV)μm

l101.2

≤5

101.2≤l≤152.0

≤10

177.4≤l≤200.0

≤25

l200.0

供需双方商定

4.1.4石英玻璃基板顶角的直角偏差应不超过±3。

4.1.5石英玻璃基板顶角半径为2mm~3mm,顶角形状示意图见图1。

4.1.6石英玻璃基板边部应倒角,倒角形状示意图见图2。倒角角度为45°±5°,倒角的直边长度应符合表3的规定。

3

GB/T34178—2017

说明:

α—倒角角度;

C—倒角的直边长度;

t—石英玻璃基板的厚度。

图2倒角形状示意图

表3石英玻璃基板边部倒角尺寸单位为毫米

边长l