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带能谱分析的扫描电子显微镜在材料分析中的应用

摘要：本文的目的是使用带能谱分析的扫描电子显微镜发现其在材料分析中的核心价值，同时观

察材料的微观形貌对微区成分进行分析以提高能谱仪定量分析的准确度。通过对能谱仪的物理基

础、工作原理、定性分析、定量分析等方面进行了阐述,并围绕如何获得不锈钢标样定量分析的

最佳工作条件以及提高定量分析准确度。并概述了带能谱分析的扫描电子显微镜的独特优点,然

后借助扫描电镜的髓谱分析,以难切削加工材料不锈钢的切削刀具磨损形貌和探求刀具材料成分

组分。通过实验发现带能谱分析的扫描电镜在定点成分分析、线扫描和面扫描方面具有很好的应

用价值，而且能谱分析的扫描电镜在试样的微观形貌，定点的定性和定量分析、线扫描及面扫描

等方面发挥着重要作用。结论，随着工程、材料、医学、生物等学科领域的不断发展,带能谱分

析的扫描电镜应用会越来越广泛,并且会在相当一段时间内发挥重要作用。

关键词：：扫描电镜；能谱分析；扫描电子显微镜；材料分析

1.Introduction

随着材料、医学、生物等学科的不断发展及计算机技术的突飞猛进,早期单纯用于拍摄样品

试样形貌照片的扫描电子显微镜(以下简称扫描电镜/SEM)和进行成分测定的x射线能量色散谱

分析仪(以下篱称能谱仪/EDX)显得越来越跟不上科学发展的潮流[1]。扫描电子显微其主要用来

对物体的表面形貌进行观察并拍照。而在实际分析工作中,往往在获得试样表面形貌的放大像后,

希望能同时进行试样成分的分析,于是,带能谱分析的扫描电子显微镜便应运而生了[2-3]。而且从

具有景深大,放大倍数连续调节范围大,分辨本领比较高,加之它可直接观察大块试样,样品制备非

常方便等特点,所以扫描电镜成为固体材料样品表面分析的有效工具,尤其适合于观察比较粗糙的

表面,如材料断口和显微组织三维形态[4]。扫描电镜不仅能进行样品表面微观形貌分析,而且可配

置能量色散谱仪(简称能谱仪),对样品中不同组成成分进行定性和半定量分析,所以在材料研发中

有着广泛应用。这种将两者连用的组合型仪器在化工、材料、医药、生物和电子等领域发挥着日

益重要的作用。而将能谱仪、扫描电镜及计算机技术结合为一体的带能谱分析的扫描电镜则会继

续在材料、医学、生物等学科领域发挥其不可代替的作用[5]。

从能谱仪诞生以来,提高能谱仪定量分析准确性的研究从未停止,对于定量分析的研究现状

可以概括为:定量分析模型理论研究和通过控制测试条件和仪器参数提高定量分析质量的研究

[6]。其中Chee,A简要分轿了扫描电子显徽镜和x射线能量色散谱分析的原理盈特点,概述了带

能谱分析的扫描电子显微镜的独特优点,然后借助扫描电镜的髓谱分析,以难切削加工材料钛合金

(TC4)的切削刀具磨损形貌和探求刀具材料成分组分为例[7]。说明了带能谱分析的扫描电镜在定

点成分分析、线扫描和面扫描方面的应用。最后总结了这种显微镜的应用范围。在此基础上Elmi

Assadzadeh简要介绍了扫描电子显微镜和X射线能谱仪的特点、制样方法和工作方式。通

过铜腐蚀、锡须、硫化银以及银迁移的失效实例，阐述了带能谱分析的扫描电子显微镜在电

子封装失效分析中的应用[8]。但是在二者共同作用领域上在高速钢夹杂物分析中的应用方面

Torre-Fdez通过扫描电镜和能谱仪,不仅能观察到金相试样和弯曲断口试样中的夹杂物形貌、尺寸,

还能同时分析其成分,对研究夹杂物对粉末高速钢性能的影响有重要指导意义[9]。而在实际案例

上的使用Onwubu,S.C.通过对案例中运用扫描电子显微镜/能谱仪分析法对微量物证进行分析比

对所得的鉴定结论,在交通事故案件处理中所起到的作用,讨论和研究扫描电子显微镜/能谱仪分

析法在交通事故微量物证鉴定中的应用[10]。扫描电镜能谱仪在微量物证的鉴定中的作用不可

息视，除H、Li等个别元素外.常见元素可用比种方进行分析.对于许多样品还可以实现高信放大

后的全元素分折。

随着材料科学的发展日新月异,纳米物质在材料领域的应用愈加广泛。由于纳米材料具有突

出的表面效应、小尺寸效应和量子限域效应,因而纳米材料具有异于普通材料的光、电、磁、热、

力学、机械等性能,可提高材料的强度、硬度,改变材料颜色、增强材料磁性等。所以纳米材料在

力学、磁学、电学、热学、光学和生命科学都有广泛的应用,显示出巨大的优越性。因此,对于纳

米材料的分析研究就逐渐成为分析领域的热点[11]。电子显微学技术可以对纳米材料的微区