【英语版】国际标准 ISO 18114:2003 EN 表面化学分析 二次离子质谱法 根据离子注入参考材料确定相对灵敏度系数 Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials.pdf

ISO18114:2003EN表面化学分析—二次离子质谱法—从离子注入参考材料中确定相对灵敏度因子的方法

详细解释如下：

ISO18114标准是关于表面化学分析中二次离子质谱法（SIMS）的一种规范，主要用于研究材料的表面化学性质和化学组成。它提供了从离子注入参考材料中确定相对灵敏度因子的方法。

相对灵敏度因子是SIMS的一个关键参数，它反映了仪器对特定元素的检测能力，通常以分母的形式表示，单位通常是cm-2atom。灵敏度因子越小，仪器的检测能力就越强。

这个标准提供了一种系统性的方法来确定相对灵敏度因子，该方法主要基于离子注入技术。通过将已知浓度的元素离子注入到参考材料中，然后使用SIMS仪器测量这些注入材料的SIMS光谱，可以获得元素的相对丰度。这些相对丰度可以用来计算相对灵敏度因子。

这种方法需要精确的控制和测量技术，以确保注入的离子浓度和位置的一致性，同时确保SIMS测量的一致性。标准还详细说明了在操作过程中需要注意的各种问题，如实验室环境的控制、参考材料的制备和处理、注射设备的精确性和稳定性、以及测量过程中的数据收集和分析。

ISO18114标准提供了一种可靠的、系统的方法来确定SIMS的相对灵敏度因子，这对于定量研究材料的表面化学性质和化学组成是非常重要的。