JC_T 2201-2022 镀膜玻璃用靶材.docxVIP

ICS81.040.10

CCSQ33JC

中华人民共和国建材行业标准

JC/T2201—2022

代替JC/T2201—2013

镀膜玻璃用靶材

Targetsforcoatedglass

2022-09-30发布2023-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

I

JC/T2201—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件代替JC/T2201—2013《镀膜玻璃用靶材》,与JC/T2201—2013相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)删除了氧化物靶材失氧率的要求(见5.6,2013年版的5.6);

b)合并了化学式和成型方法，更改了杂质元素含量的单位，增加了序号列，提高了部分靶材纯度要求，调整了靶材种类(见表1,2013年版的表1);

c)合并了化学式和成型方法，调整部分靶材的密度要求(见表2,2013年版的表2);

d)删除了喷涂靶材中对平面靶材的孔洞要求，提高了粉末冶金靶材的表面孔洞要求(见表3,2013年版的表3);

e)增加了平面邦定靶材和旋转邦定靶材的邦定质量要求(见5.4);

f)增加了常用熔铸靶材的晶粒度和均匀性(见5.6);

g)增加了氧化锆和氧化铌的电阻率要求(见5.7);

h)更改了内部缺陷要求，被检测面积应大于靶材溅射面总面积的5%修改为应包含靶材的所有溅射面积，邦定靶材包含所有粘结面积(见6.4,2013年版的6.4);

i)删除了氧化物靶材失氧率的检验方法，增加了熔铸靶材的晶粒度和均匀性的检验方法(见6.6,2013年版的6.6);

j)增加了喷涂旋转靶材的电阻率的检验方法(见6.7.2);

k)增加了组批和检验项目(见7.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国建筑材料联合会提出。

本文件由全国建筑用玻璃标准化技术委员会(SAC/TC255)归口。

本文件起草单位：河北冠靶科技有限公司、东莞市欧莱溅射靶材有限公司、新福兴玻璃工业集团有限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会、宁波森利电子材料有限公司、上海耀皮玻璃集团股份有限公司、梭莱镀膜工业(江阴)有限公司、中力玻璃有限公司、株洲旗滨集团股份有限公司、常州亚玛顿股份有限公司、中国南玻集团股份有限公司、青岛锦绣前程节能玻璃有限公司、秦皇岛玻璃工业研究设计院有限公司。

本文件主要起草人：温艳玲、文宏福、田永刚、杨晔、吴斌、蔺裕平、汤传兴、曾小绵、林金锡、

黄成德、樊义平、张中美、陈玉平、程亦、林庆中、刘国东、贾立丹。本文件所代替文件的历次版本发布情况为：

——本文件于2013年首次发布，本次为第一次修订。

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JC/T2201—2022

镀膜玻璃用靶材

1范围

本文件规定了镀膜玻璃用靶材的分类、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。本文件适用于建筑用真空磁控溅射镀膜玻璃使用的靶材，其他镀膜玻璃用靶材可参照使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

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GB