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接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范

1范围

本规范适用于接触（触针）式表面轮廓测量仪的校准

2引用文件

本规程引用下列文件

JJF1001-2011通用计量术语及定义

JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示

GB/T19600-2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪

器的校准

GB/T6062-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器

的标称特性

JB/T11271-2012接触（触针）式表面轮廓测量仪

凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡不注日期的引用文

件，其最新版本（包括所有的修订单）适用于本规范

3概述

图1接触（触针）式表面轮廓测量仪

1-底座；2-工作台；3-触针；4-传感器；5-基准导轨；

6-立柱；7-驱动箱；8-计算机；9-信号处理器

接触（触针）式表面轮廓测量仪（以下简称轮廓仪）是测量各种机械零件形状和截

面轮廓形状的精密设备

轮廓仪工作原理：以导轨为基准，触针沿着工件表面运动，记录测量仪的表面轮廓

曲线，计算并评定轮廓的尺寸、角度、圆弧半径等二维形状位置参数的测量仪器

1

轮廓仪的型式如图1所示

4计量特性

4.1X轴导轨直线度

4.2轮廓水平分量（X轴）示值误差

4.3轮廓垂直分量（Z轴）示值误差

4.4角度测量示值误差

4.5圆弧半径测量示值误差

4.6重复性

5校准条件

5.1环境条件

校准室内应无影响测量的灰尘、振动、气流、腐蚀性气体和较强磁场。其他环境条

件见表1

表1校准环境条件

实验室温度/℃室温变化/(℃/h)平衡温度时间/h实验室相对湿度/%RH

20±3≤1≥2≤65

5.2测量标准及其他设备

轮廓仪的测量标准及其他设备见表2

表2测量标准及其他设备一览表

序

校准项目测量标准及其他设备

号

1X轴导轨直线度平面平晶：1级

激光干涉仪：MPE:±0.03μm+1.5×10―6；

（）

2轮廓水平分量（X轴）示值误差

轮廓标准器：≤1/4MPEX（示例见附录A）

量块：3等；

3轮廓垂直分量（Z轴）示值误差

平面平晶：一级

4角度测量示值误差角度块：2级或轮廓标准器：≤1/4MPEθ

标准球或标准半球或轮廓标准器：直径：≤1/3

MPER，

5圆弧半径测量示值误差

圆度：≤