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MEMS流量传感器
D6F系列
用户手册
MEMS流量传感器
CDSC-023B-CN5-02
目录
1概要2
2什么是流量传感器2
3构造2
3.1流量传感器的基本构成2
3.2流量传感器的产品系列3
4工作原理5
4.1MEMS流量传感器芯片的基本结构5
4.2质量流量传感器的检测原理6
5产品特点7
5.1流量传感器的特性项目7
5.1.1流量检测范围8
5.1.2输出信号(动作特性)8
5.1.3耐压性能8
5.1.4再现性9
6流量传感器的使用方法9
6.1电气连接方法9
6.2接头的种类和安装方法10
6.2.1螺纹式10
6.2.2快速接头型10
6.2.3歧管安装型11
6.2.4竹节接头型12
6.3配管、连接时的注意事项13
6.3.1流入气体的净化13
6.3.2稳定化13
6.3.3大流量的测量13
6.3.4对层流化的考虑14
6.4外部环境的影响14
6.4.1温度特性15
6.4.2灰尘的影响15
6.4.3压力和温度的影响16
6.4.4安装方向的影响17
6.4.5各种气体的输出变化18
6.4.6超出流量检测范围时的动作18
6.4.7湿度的影响18
6.5应用例19
7用语20
8承诺事项22
1D6F系列MEMS流量传感器用户手册(CDSC-023B-CN5-02)
1概要
本应用手册对本公司MEMS流量传感器的特点、基本使用方法和使用时的注意事项进行了说
明。
2什么是流量传感器
流量传感器是检测气体流量及流速的传感器。流量传感器一般有旋桨式、浮子式、超声波
式、热线式等。欧姆龙的流量传感器采用MEMS热线式，与其他类型相比具有相对优异的特
性。
表1.各种流量传感器的方式及其特点
オムロン
以往传感器方式欧姆龙
従来センサ方式
MEMS
MEMS
Type旋桨浮子超声波热线
プロペラフロート超音波熱線
热线式
熱線式
灵敏度
感度××△○○
响应速度
応答速度×△△○
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