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北京大学微电子学系

国家大力支持的重点学科点

北京大学微电子学系，又称微电子学研究所(院)，有着源远流长的学术传统。1956年，由著

名物理学家黄昆院士在北大物理系领导创建了我国第一个半导体专业机构，之后在我国著名

微电子专家王阳元院士的带领下，北京大学微电子学系发展成为我国培养高水平微电子人才

的一个重要基地，是国家的重点学科点。

【硬件环境】三大重点实验室国内领先

北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、

北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同

设计高科技实验室三大重点实验室，还有MPW(多项目晶圆)中心平台。

【师资科研】科研小组特色明显

北大微电子所下设SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太

器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，目前出任中芯国际

的董事长。

SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及射频电路技

术。黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEEEDS(ElectronDeviceSociety)和ADCOM

(AdministrativeCommittee)的成员，主要科研方向是SOI，但同时也指导学生进行射频方面的

研究。廖怀林教授专门从事RF电路方面的研究，功底深厚。该研究组掌握了国内科研界最

先进的加工技术(流片基本上采用0.13微米工艺)，研究生博士生已有多篇文章发表在国际高

水平刊物上。

SOC研究组在敦山教授领导下，拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安

捷伦科技SOC测试工程中心两大平台。于老师虽然是研究微处理器，但在系统方面也有很

深的造诣。

重视工艺是北大微电子所的传统，所里不少老师是学物理出身的，对于器件工艺十分重视，

再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此该所的微电子器件加工工艺一直保持着国内领先

水平。

新器件组在刘晓彦、康晋锋两位教授的带领下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、

模型、模拟等方面的研究。他们成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属

栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性、高速互联方面都取得了一系列创新成果。在器件

的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。

MPW是近两年新成立的一个研究组，是依托北大微电学研究院的技术力量建立的一个服务

于各高校、科研、企业的平台，目前由盛世敏教授和张钢刚教授指导学生开展工作。盛教授

是当年王院士的同事，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组的研究生，有从事数电、

模电工作的，也有从事ADC、提取参数、建立模型库方面工作的。

MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、

生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先，组内的李

志宏教授、张大成教授等多位老师对工艺有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所长，

在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；

张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米/纳米加工实

验室的负责人。该组的“基于MEMS技术及应用研究”曾获得2006年度国家技术发明二等

奖，是北京大学第一次以“第一完成人单位”获得的国家技术发明二等奖。

【招生信息】

北大微电子学专业2007年招收硕士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。从

今年开始，没有达到微电子专业分数线的考生，只要过了北大研考理学类总分数线的都可以

转报微电子工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。

清华大学微电子所

全国微电子学领域首个重点学科点

清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中

科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是

高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。

【硬件环境】两条集成电路工艺加工线

清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的

MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成

电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其

他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并