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2023年ITO靶材项目评估报告.docx

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    ITO靶材项目评估报告

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    ITO靶材项目评估报告

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    TOC\h\z7809前言 3

    24544一、工艺方案的选择 3

    1034(一)、基本要求 3

    11688(二)、典型工艺技术介绍 4

    16814(三)、ITO靶材项目组成 6

    6511(四)、工艺技术方案的选择 7

    17250(五)、工艺技术方案的设计 8

    11224二、ITO靶材项目建设单位基本情况 10

    4536(一)、ITO靶材项目建设单位基本情况 10

    19388(二)、ITO靶材项目主管单位基本情况 12

    15985(三)、ITO靶材项目技术协

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