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多晶硅生产技术研究.doc

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    PAGE27

    多晶硅生产技术研究

    摘要

    多晶硅在生产中是以单质硅保存的。通过物理手段或者化学反应能使单质硅变成多晶硅。还原装置生产过程是把经已经提纯后与净化过的三氯氢硅与H2原料通过管道输送到还原炉中去，在大约1080℃～1150℃温度下使其发生化学反应，将还原出来的多晶硅沉积聚集在硅芯上。然后就得到了高纯度的多晶硅。

    此论文主要讲在多晶硅现实生产过程中能更好的提高产品质量提高产品纯度。

    关键词：多晶硅，三氯氢硅，氢气，还原炉

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u第1章前言 4

    第2章多晶硅的生产工艺 5

    2.1改良西门子法的简介 5

    2.2

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