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SQDL平台双离子源刻蚀系统（IBE）标准操作流程及使用规范SOP.pdf

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    上海科技大学量子器件中心

    （SQDL）

    工艺设备SOP

    双离子源刻蚀系统IBE

    版本：V1

    发布年份：2023年

    编写人：张雁冰

    设备管理工程师：张雁冰

    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：双离子源刻蚀系统（IBE）

    目录

    1.设备功能（ToolFunction）1

    2.设备使用登记（Regis

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