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上海科技大学量子器件中心（SQDL）
工艺设备SOP
多源炉电子束蒸发系统
版本：V1
发布年份：2020年
编写人：张祁莲
设备管理工程师：张祁莲
电子束蒸发系统ElectronBeamEvaporationSystem
一、镀膜准备
记录仪器真空度，做好使用登记。
开腔OVERVIEW→AUTO（绿色亮起）→AUTOVENT
卸下衬底托架，此时需要轻轻拧松螺丝（勿拧下螺丝），三枚螺丝整体拧松后，旋动托架并
取。放置或固定衬底于托架，拧紧托架螺丝（整体拧紧，
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