SQDL平台应力测量仪操作规程(SOP).pdf

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上海科技大学量子器件中心

(SQDL)

工艺设备SOP

FLX2320应力测试仪

版本:V1

发布年份:2024年

编写人:闫晓密

设备管理工程师:闫晓密、张祁莲

上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP:FLX2320应力测试仪

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1.开机2

2.关机2

3.量测2

4.Stress-Time量

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