微晶玻璃固结磨料研磨加工亚表面损伤预测研究.pdf

表面技术第53卷第2期

·158·SURFACETECHNOLOGY2024年1月

微晶玻璃固结磨料研磨加工亚表面损伤预测研究

1,21111*

王科荣，宗傲，牛凤丽，张羽斐，朱永伟

（1.南京航空航天大学a.机电学院b.江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京210016；

2.金华职业技术学院机电工程学院，浙江金华321000）

摘要：目的快速、准确预测微晶玻璃在研磨加工过程中的亚表面损伤状况，制定合理的加工工艺。方法通

过建立微晶玻璃的离散元模型，仿真分析了研磨压力等研磨工艺参数对工件亚表面损伤的影响规律，并采

用角度抛光法对研磨后微晶玻璃的亚表面损伤状况进行了实验验证。结果采用W14金刚石固结磨料垫研磨

微晶玻璃，当研磨压力为10kPa时，工件亚表面裂纹层深度为1.75μm，当研磨压力降低至3.5kPa时，工

件亚表面裂纹层深度为1.38μm；随着研磨压力的降低，亚表面微裂纹数量减少。研磨残余应力层分布深度

大于微裂纹层的，且在微裂纹的尖端存在较大的残余拉应力。结论角度抛光法得到的亚表面裂纹层深度与

仿真结果一致，偏差范围为−10.87%~11.29%，残余应力仿真结果与试验结果的偏差为7.89%。离散元仿真

能够比较准确地预测固结磨料研磨微晶玻璃的亚表面损伤状况，为其研磨抛光工艺参数的制定提供了理论

参考依据。

关键词：微晶玻璃；固结磨料研磨；亚表面损伤；残余应力；离散元仿真

中图分类号：TG74文献标志码：A文章编号：1001-3660(2024)02-0158-10

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.02.015

PredictionofSubsurfaceDamageofGlass-ceramics

byFixedAbrasiveLapping

1,21111*

WANGKerong,ZONGAo,NIUFengli,ZHANGYufei,ZHUYongwei

(1.a.CollegeofMechanicalandElectricalEngineering,b.JiangsuKeyLaboratoryofPrecisionandMicro-manufacturing

Technology,NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics,Nanjing210016,China;

2.MechanicalElectricalEngineeringCollege,JinhuaPolytechnic,ZhejiangJinhua321000,China)

ABSTRACT:Glass-ceramicswithitssuperiorchemical,physicalandmechan