- 1、本文档共10页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
T/ACCEMXXXX—XXXX
1
自动匀胶机
1范围
本文件规定了的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、使用说明书、包装、运输和贮存。
本文件适用于的生产和检验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T4208—2017外壳防护等级(IP代码)GB/T4879防锈包装
GB/T5080.7—1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案
GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件GB/T6388运输包装收发货标志
GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T13306标牌
GB/T25371铸造机械噪声声压级测量方法3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4结构与参数
4.1结构
4.1.1产品结构图如图一所示。
T/ACCEMXXXX—XXXX
2
图1产品结构图
4.1.2产品由以下部位构成:
a)机架;
b)晶圆取/收位;
c)机械手式搬运机构;
d)晶圆定中机构;
e)不锈钢匀胶腔;
f)热板;
g)排风系统;
h)电控单元
i)胶路系统及气路系统等。
4.2参数
产品参数如表1所示。
表1参数
项目
指标
主轴转速
0~5000rpm
转速精度
±2RPM
热板单元
室温~200℃±1℃
正常运行(每月)
95%
真空
压力
≥-70KPa
流量
≥30L/min
接口
φ10快速接头
压缩空气
压力
≥0.6Mpa
流量
≥40L/min
管径
φ10快速接头
排风口
排风量
≥2000L/min
接口
外径φ100mm
胶腔胶液回收
排放方式
重力排放
管径
3/4特氟龙管
电源及功率
AC220V±10%50Hz4.7KW
T/ACCEMXXXX—XXXX
3
5技术要求
5.1外观
5.1.1外观表面应干净整洁,无脏污、色溃,无图样未规定的凸起、凹陷、粗糙不平。外露的加工表面无磕碰、划伤和锈蚀。
5.1.2焊缝应平整,无夹渣、气孔、未焊透、裂纹。
5.1.3镀层应无脱皮、起泡、锈迹。
5.1.4涂漆层应光滑、平整,颜色、光泽应均匀一致,漆膜不应有流挂、起泡。
5.1.5标牌应平整牢固、不歪斜,标牌上的文字、符号、标志应清晰、端正。
5.2尺寸偏差
产品实际尺寸与图纸标示尺寸允许偏差应为±5%。
5.3装配质量
5.3.1零部件应齐全、完整,各部件应装配牢固,连接可靠。
5.3.2各转动部位应灵活可靠,不应有卡滞现象;各固定部位应无脱落现象。
5.4噪声
空转噪声应≤85dB(A)。
5.5运行稳定性
连续运行2000片应无故障、无碎片。
5.6碎片率
应≤0.01%。
5.7设备产能
应≥180片/h。
5.8可靠性
5.8.1设备平均故障间隔时间应>650h。
5.8.2设备平均故障修复时间应<8h。
5.9安全
5.9.1电气安全应符合GB/T5226.1的规定,动力电导线和保护连接电路之间应经受至少2s的耐压试验。
5.9.2外壳防护等级应符合GB/T4208—2017中IP54的规定。
5.9.3对操作及相关人员可能触及的外露旋转、传动部件,应设有安全防护装置。
5.9.4对可能造成人身伤害但因功能需要而又不能防护的危险运转件,应在其附近设置永久性安全警示标志。
6试验方法
6.1外观
在光线充足的自然光下,以目测检验。
6.2尺寸偏差
T/ACCEMXXXX—XXXX
4
用通用量具进行测量。6.3装配质量
手触结合目测。
6.4噪声
按GB/T25371的规定进行。
6.5运行稳定性
每天连续作业2000片,连续观察3d。
6.6碎片率
连续作业10000片,统计异常碎片数。按式(1)计算破片率。
P=×100%·····································································(1)
式中:
P——破片率;
W——异常碎片数。
6.7设备产能
连续作业1h,统计作业片数。
6.8可靠性
进行现场可靠性验证试验。按GB/T5080.7
您可能关注的文档
最近下载
- DB11_T 584-2022 薄抹灰外墙外保温工程技术规程.pdf VIP
- 2024年华医网继续教育临床静脉用药质量管理与风险防范答案.docx VIP
- 《金属材料及热处理(第三版)习题册》-参考答案 劳动.pdf
- 公司理财 罗斯第十一版 英文 解答手册 Corporate_Finance_11th_edition_Solutions_Manual.docx
- 最新初中七年级数学运算能力培养策略(课件).pptx VIP
- 泄爆面积计算表-适用-GBT-.xls VIP
- 高压氧常识介绍高压氧治疗.pptx VIP
- 幼儿园绘本:《闪闪的红星》 红色故事.pptx
- 高速公路多元数据综合分析系统建设方案.pdf
- 动火临时用电管理方案.doc
文档评论(0)