《基于PECVD工艺的TOPCon电池制备技术通则》（编制说明）.docx

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《基于PECVD工艺的TOPCon电池制备技术通则》地方标准编制说明

一、工作简况

（一）任务来源

根据四川省市场监督管理局2024年6月26日发出的《关于川产道地药材生产技术通则甘松等51项地方标准制修订项目立项计划（第一批）的通知》以及《四川省地方标准管理办法》的相关要求，由通威太阳能（成都）有限公司牵头，制定该标准。

（二）制定背景

太阳能作为一种清洁可再生能源，凭借其本身取之不尽用之不竭、清洁无污染等优势，在近些年已经成为世界范围内人类关注的重要话题。在2022年国务院发布了《关于促进新时代新能源高质量发展的实施方案》，该方案明确提出加快构建清洁低碳、安全高效的能源体系。现在光伏发电已经成为我国新能源产业发展的战略方向。面对能源变革新趋势，低成本、高效率、高可靠性的超薄氧化层钝化接触（TOPCon）电池产品顺应越来越严苛的市场要求，具有优异的高效性能，已成为新一代太阳能电池技术的领先者。目前，TOPCon电池的产业化在国内属于起跑阶段，需要不断完善高效率低成本的TOPCon电池的制备技术，尤其是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方式沉积纳米级超薄氧化层和多晶硅薄膜的技术对TOPCon电池的效率起着决定性的作用。

因此，为了进一步获得高效率、高可靠性、低成本的TOPCon电池产品，为光伏发电成本的降低提供强有力的支持，加速光伏发电大规模全面平价上网的进程，非常有必要制定PECVD沉积纳米级超薄氧化层和多晶硅薄膜的技术通则标准，以带动我省光伏行业的进步，促进我省电池产业转型升级，提升我省整个行业的制造水平，降低发电成本、推

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动实现平价上网，提升我省的光伏产业品质，降低我省对化石能源的依赖，减少碳排放。

（三）编制过程

1.前期工作

计划任务下达前，标准编制单位的技术人员对PECVD沉积纳米级超薄氧化层和多晶硅薄膜的技术开展调研，查阅、收集国内相关技术资料，提出标准制定方案。

2．标准立项申请

2023年11月，根据四川省经济和信息化厅《关于征集2024年度工业地方标准制（修）订项目立项计划的通知》（川经信办〔2023〕65号）要求，标准编制单位提交了标准立项申请。

3．成立编制小组

2024年1月，标准编制单位牵头组织有关专家和技术人员组成编制小组，对标准编制工作进行分工，对部分指标和参数通过设计试验进行比较，明确任务和职责，以确保项目的顺利实施。

4．查找相关资料，开展相关试验

2024年1月至5月，编制小组对现有研究文献和相关报道进行查阅总结，收集相关案例和参数。期间，在应用基地开展相关试验进行探究和验证，收集数据，确定关键指标的参数。

5．标准起草

2024年6月至9月，在立项通知下达后，根据查阅的相关资料和文献，以及试验得到的相关数据，编制小组经过多次的反复讨论，修改完善，形成标准征求意见稿。

6.意见征集

2024年10月，挂网征求意见，并完成征求意见会。

（四）协作单位及任务分工

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参编单位

任务分工

通威太阳能（成都）有限公司

标准编制的牵头组织和总体协调，组织相关方参与讨论，组织完成方法验证试验和数据统计分析，标准的申报、编制以及修改意见整理和文本修改等工作。

成都市标准化研究院

参与标准的编制并对标准的编制进行指导。

通威太阳能（眉山）有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

四川高景太阳能科技有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

宜宾英发德耀科技有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

四川东磁新能源科技有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

四川美科新能源有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

四川省通威晶硅光伏产业创新有限公司

协助提供标准编制过程中相关数据支持及建议。

二、标准编制原则

（1）依据《中华人民共和国标准化法》《四川省标准化监督管理条例》和《四川省地方标准管理办法》规定的流程和要求开展地方标准研究。

（2）严格按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的编写规则开展标准编制。

三、主要内容及确定依据

本标准规定了采用PECVD方式制备超薄氧化层及掺杂多晶硅层钝

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化接触（TOPCon）电池的制备方法，适用于基于PECVD路线的TOPCon太阳能电池的制备流程。本标准术语和定义部分引用了GB/T2297、GB/T14264、SJ/T11829.1，此外还定义了“TOPCon太阳电池”、“超薄氧化硅层”、“n型掺杂多晶硅”、“硼硅