RTS-9型双电测四探针测试仪说明书用户手册.pdf

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RTS-9型双电测四探针测试仪

RTS-9型双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范

德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进

行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测

量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由

于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从

而提高了测量结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪

器是无法实现的。

RTS-9双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程

序。测试程序在计算机与RTS-9型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的测试数据，把采集到

的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可

对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到

Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

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电阻率：10-5～105Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：10-4～106Ω/□(可扩展)；

测量范围

电导率：10-5～105s/cm；

电阻：10-5～105Ω；

可测晶片厚度≤3mm

140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

可测晶片直径200mmX200mm(配S-2B型测试台)；

400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连

恒流源

续可调

量程及表示形式：000.00～199.99mV；

分辨力：10μV；

数字电压表输入阻抗：1000MΩ；

精度：±0.1%；

显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

四探针探头基本指标机械游移率：≤0.3%；

探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

探针压力：5～16牛顿(总力)；

四探针探头应用参数(见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

(按JJG508-87进行)

整机测量最大相对误差(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%

整机测量标准不确定度≤4%

采用双电测测试标准，通过RTS-9双电测测试软件控制四探针测试仪进行测量

并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算出电

测试标准

阻值。仪器主机也可兼容RTS-8四探针测试软件实现单电测测试标准，两套软

件可同时使用。

软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最

小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成

软件功能