WNS-系列12寸金相观察显微镜说明书用户手册用户手册产品说明书使用说明文档安装使用手册
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12寸金相观察显微镜WNS-12DS
半导休-芯片-晶圆-LCD-LED等行业广泛应用)Z轴电脉高精度设计,最小移动精度可
达0.1~1um,保证高倍率稳定对焦
1.产品介绍
◆WNS-12DS金相观察显微镜专为12寸晶圆观察检测量身订做,本机Z轴对焦采用手
脉电控上下,独家使用专业订制的高精准细分脉冲金相测量电机,通过设置多种脉冲
细分量和机构上的精准调校,可以实现快上、快下及中慢档调速来控制Z轴光学镜头
上下移动,并且Z轴可以选配光栅数据和辅助对焦测高模块,大大提高设
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