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缺陷检测算法优化
在半导体制造过程中,缺陷检测是确保产品质量的重要环节。KLA-Tencor的缺陷检测软件提供了强大的功能,但为了更好地适应特定的工艺需求和提高检测效率,二次开发和算法优化显得尤为重要。本节将详细介绍如何优化缺陷检测算法,包括算法选择、参数调整、自定义算法开发等方面。
1.算法选择
在进行缺陷检测时,选择合适的算法是优化的第一步。KLA-Tencor软件提供了多种内置的缺陷检测算法,如模板匹配、频域分析、机器学习等。每种算法都有其适用的场景和优缺点,选择合适的算法可以显著提高检测的准确性和效率。
1.1模板匹配算法
模板匹配算法是最常
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