TCSTM-铝制多层复合钎焊板 氧化膜厚度的测试方法 俄歇电子能谱法.pdf

ICSXX.XXX.XX

CCSXXXX

团体标准

T/CSTMXXXXX—202X

铝制多层复合钎焊板氧化膜厚度的测试

方法俄歇电子能谱法

Aluminummultilayercompositebrazingplate-Thicknessmeasurementson

oxidationfilm-Augerelectronspectroscopy

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中关村材料试验技术联盟发布

T/CSTMXXXXX—2023

前言

本文件参照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T

20001.4—2015《标准编写规则第4部分：试验方法标准》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国材料与试验标准化委员会科学试验标准化领域委员会（CSTM/FC98）提出。

本文件由中国材料与试验标准化委员会科学试验标准化领域委员会（CSTM/FC98）归口。

1

T/CSTMXXXXX—2023

引言

铝制多层复合钎焊板，用于空调、油冷器、水箱和工业热空气分散器等散热器部件，在航空航天领

域具有广泛的应用。研究其氧化膜的组织机理及在加工过程中钎焊复合层界面处的微观组织演变的变化

规律有利于产品质量的提升，有助于提高产品市场占有率。

目前主流的元素价态测试方法是X射线光电子能谱（XPS）法。该方法受限于空间分辨率低，只

能得到样品表面大面积分析区域的平均值，无法满足样品微观组织演变即微区分析（如不同压痕区域）

的要求。

俄歇电子能谱（AES）具有很高的表面灵敏度，是最常用的表面分析手段，采用电子束作为激发源，

具有很高的空间分辨率，最小可达到6nm，可以满足样品表面微区分析的要求。俄歇电子能谱依据俄歇

电子的能量来识别元素，利用俄歇化学位移可以分析元素的化学价态和存在形式，相对于XPS测试方

法，AES方法更能满足铝制多层复合钎焊板其氧化膜的组织机理及在加工过程中钎焊复合层界面处的

微观组织演变的变化规律的测试要求。

本标准提供了一种俄歇电子能谱测定铝制多层复合钎焊板氧化膜厚度的方法。

2

T/CSTMXXXXX—2023

铝制多层复合复合钎焊板氧化膜厚度测试方法俄歇电子能谱法

重要提示（危险或警告或注意）：使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未

指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的

条件。

1范围

本文件规定了俄歇电子能谱法测定铝制多层复合钎焊板氧化膜厚度的原理、试验条件、仪器设备、

样品、试验步骤的方法。

本文件适用于铝制多层复合钎焊板氧化膜厚度的测试，其他金属氧化膜厚度的测定可参考执行。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅

该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则

GB/T35158-2017俄歇电子能谱仪检定方法

GB/T30702-2014表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光