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维普资讯
工材料２００８Ｎｏ．１徐模辉等：溶胶一凝胶法制备Ａ０蓬曼皇塑蔓堕窒堡兰
溶胶一凝胶法制备ＺＡＯ透明导电
氧化物薄膜的研究进展
徐模辉，王华
（桂林电子科技大学ａ．信息与通信学院；ｂ．信息材料科学与工程系，广西桂林５４１００４）
摘要：溶胶一凝胶法是一种高效的制膜技术。本文综述了溶胶一凝胶法制备氧化锌铝（ＺＡＯ）透明导电
氧化物薄膜（ＴＣＯ）的原理、特点及研究进展，指出了采用溶胶一凝胶法制备ＺＡＯ薄膜今后急需解决的
问题。
关键词：溶胶一凝胶法；氧化锌铝（ＺＡＯ）；透明导电氧化物薄膜（ＴＣＯ）
中图分类号：ＴＭ２０５．１文献标志码：Ａ文章编号：１６７１—８８８７（２００８）０１—００３１—０６
ＰｒｏｇｒｅｓｓｉｎＡｌｕｍｉｎｕｍ－ｄｏｐｅｄＺｎｏＴｒａｎｓｐａｒｅｎｔ
ＣｏｎｄｕｃｔｉｎｇＴｈｉｎＦｉｌｍｓｂｙＳｏｌ—ｇｅｌＭｅｔｈｏｄ
ＸＵＭｕ～ｈｕｉ，ＷＡＮＧＨｕａ
（ａ．Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ＆ＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎＣｏｌｌｅｇｅ；ｂ．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅ
ａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＧｕｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｇｕｉｌｉｎ６４１００４，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｓｏｌ—ｇｅｌｍｅｔｈｏｄｉｓａｖｅｒｙｅｆｆｉｃｉｅｎｔｍｅｔｈｏｄ，ＷｈｉｃｈｉｓＷｉｄｅｌｙｕｓｅｄｔｏｐｒｅｐａｒｉｎｇ
ｔｈｉｎｆｉｌｍｓ．ＴｈｅａｄｖａｎｃｅｓｉｎｔｈｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆＺＡＯｔｈｉｎｆｉｌｍｓｂｙｓｏｌ—ｇｅｌｍｅｔｈｏｄａｓｗｅｌｌ
ａｓｉｔｓｐｒｉｎｃｉｐｌｅａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓａｒｅｂｒｉｅｆｌｙｒｅｖｉｅｗｅｄ．Ａｔｔｈｅｅｎｄｏｆｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｅｘｉｓｔｉｎｇ
ｐｒｏｂｌｅｍｓａｒｅａｌｓｏｐｏｉｎｔｅｄｏｕｔ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｏｌ—ｇｅｌｍｅｔｈｏｄ；ＺＡＯ；ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｔｈｉｎｆｉｌｍ
１引言多学者的广泛关注，成为研究ＴＣＯ的热点【１１ｏ
随着电子技术的发展，为了满足半导体、计算制备ＺＡＯ薄膜的方法很多，一般来说用于制备
机、太阳能等产业的发展需求，透明导电氧化物薄其他透明导电氧化物薄膜的方法均可用于制备ＺＡＯ
膜（ＴＣＯ）在薄膜晶体管（ＴＦＴ）、平板液晶显示薄膜。主要包括：磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶
（ＬＣＤ）、特殊功能窗ＶＩ涂层、红外辐射反射热镜薄胶一凝胶法、化学气相沉积法、喷涂热分解法等旺１ｏ
膜等方面得到了广泛应用。目前应用最为广泛的目前最为成熟且应用最为广泛的方法是磁控溅射
ＴＣＯ薄膜是氧化铟锡（ＩＴＯ），但由于Ｉｎ、ｓｎ等材法，但该方法存在一些缺点，如：对设备的真空度要
料的自然储量少，制备工艺复杂，成本高，有毒，稳求较高，从而
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