《身管内膛磁控溅射Ta-W涂层的制备及性能研究》.docxVIP

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《身管内膛磁控溅射Ta-W涂层的制备及性能研究》

一、引言

随着现代军事科技的发展,武器装备的性能要求越来越高,特别是对身管内膛的耐腐蚀性、耐磨性及热稳定性等方面提出了更为严格的要求。针对这一需求,本文研究了身管内膛磁控溅射Ta-W涂层的制备工艺及其性能。通过磁控溅射技术制备Ta-W涂层,旨在提高身管内膛的表面性能,以满足现代武器装备的需求。

二、制备方法

1.实验材料

本实验采用Ta(钽)和W(钨)作为靶材,其纯度均达到99.9%。此外,还需准备基体材料(身管内膛材料)及其他辅助设备。

2.制备工艺

采用磁控溅射技术,将Ta和W靶材进行溅射,制备出Ta-W合金涂层。具体步骤包括:基体预处

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