电镜基础知识与原理 .pdfVIP

1、电子束照射到样品上，电子与物质作用：

使电子改变运动方向，称为散射；电子只改变运动方向，不改变能量，称为弹性散射；

既改变运动方向，又改变能量，称为非弹性散射。

2、透射电子显微镜（TEM）的磁透镜包括：长磁透镜、短磁透镜、极靴透镜

长磁透镜：像的每一点都与磁力线平行，M=1，没有放大作用，焦距长；

短磁透镜：a、短磁透镜为会聚透镜；b、透镜光焦度1/f与(IN)2成正比；

c、焦距f与加速电压U（即电子速度）有关，电子速度越大，焦距越长。

3、理想成象的条件：a、场分布严格轴对称；b、满足傍轴条件；c、电子初速度相等。

4、景深与焦深：

D22



ftan

景深(Df)：试样在物平面沿轴前后移动而不使分辨率下降的距离（2L），即物的空间距离。

焦深(DL)：象平面沿轴前后移动而不使成象分辨率降低的距离（2LM2），即象的空间距离，

2

M为放大倍数。

DM

2

L



5、电镜的象差中球差、畸变、像散称为几何像差，倍率色差和旋转色差称为色差。

球差系数Cs恒大于零，透镜强度越大，Cs越小。

1

球差与分辨率的关系：Cs——球差系数，——孔径角。tga

300

C

s4s0

畸变：当电子束不满足傍轴条件时，主要在中间镜和投影镜发生畸变。

像散：由于极靴加工精度的影响，使得磁场非对称，导致像在一个方向加长，另一个方向变

短。解决办法：加消像散器

色差：由电子束能量宽度决定，包括倍率色差和旋转色差。

6、透射电镜成像的三个要素：分辨率（分辨能力）、衬度、放大倍数

（1）分辨率（分辨能力）：能分清两个点的中心距离的最小尺寸。

a、人眼分辨能力：约0.1~0.2mm。

0.61



b、光学显微镜的分辨率：——分辨率；——可见光波长；nsin——透镜孔







nsin径值

¼¾



c、电子显微镜的分辨率：BCsB——常数，一般在0.43~0.65之间。

¼¾

——

A、TEM分辨率的影响因素：BCsB——常数，Cs球差系数

球差、光波波长决定了TEM的分辨率，提高电子束的加速电压，减小电子束的波长，降低

球差、色差对分辨率的影响；同时影响其分辨率的因素还有：灯丝的形状：双聚光镜的第一

聚光镜要求为强透镜，而第二聚光镜为弱透镜。