电子衍射(材料分析方法).pdfVIP

电子衍射(材料分析方

法)

本页仅作为文档封面，使用时可以删除

Thisdocumentisforreferenceonly-rar21year.March

第十章电子衍射

一、概述

透射电镜的主要特点是可以进行组织形貌与晶体结构同位分析。若中间镜物平面

与物镜像平面重合（成像操作），在观察屏上得到的是反映样品组织形态的形貌图

像；而若使中间镜的物平面与物镜背焦面重合（衍射操作），在观察屏上得到的则是

反映样品晶体结构的衍射斑点。本章介绍电子衍射基本原理与方法，下章将介绍衍衬

成像原理与应用。

电子衍射的原理和X射线衍射相似，是以满足（或基本满足）布拉格方程作为产

生衍射的必要条件。两种衍射技术所得到的衍射花样在几何特征上也大致相似。多晶

体的电子衍射花样是一系列不同半径的同心圆环，单晶衍射花样由排列得十分整齐的

许多斑点所组成。而非晶态物质得衍射花样只有一个漫散得中心斑点（图1，书上图

10-1）。由于电子波与X射线相比有其本身的特性，因此，电子衍射和X射线衍射相

比较时具有下列不同之处：

（1）电子波的波长比X射线短的多，在同样满足布拉格条件时，它的衍射角θ很

－2

小，约10rad；而X射线产生衍射时，其衍射角最大可接近90°。

（2）在进行电子衍射操作时采用薄晶样品，薄样品的倒易阵点会沿着样品厚度方向

延伸成杆状，因此，增加了倒易阵点和爱瓦尔德球相交截的机会，结果使略为偏离布

拉格条件的电子束也能发生衍射。

（3）因为电子波的波长短，采用爱瓦尔德球图解时，反射球德半径很大，在衍射角

θ较小德范围内反射球的球面可以近似地看成是一个平面，从而也可以认为电子衍射

产生的衍射斑点大致分布在一个二维倒易截面内。这个结果使晶体产生的衍射花样能

比较直观的反映晶体内各晶面的位向，给分析带来不少方便。

（4）原子对电子的散射能力远高于它对X射线的散射能力（约高出四个数量级），

－3

这使得二者要求试样尺寸大小不同，X射线样品线性大小位10cm，电子衍射样品

－6－5

则为10～10cm，且电子衍射束的强度较大，摄取衍射花样时曝光时间仅需数秒

钟，而X射线以小时计。

2

（5）X射线衍射强度和原子序数的平方（Z）成正比，重原子的散射本领比轻原子

大的多。用X射线进行研究时，如果物质中存在重原子，就会掩盖轻原子的存在。而

4/3

电子散射的强度约与Z（原子序数）成正比，重原子与轻原子的散射本领相差不十

分明显，这使得电子衍射有可能发现轻原子。此外，电子衍射因子随散射教的增大而

减小的趋势要比X射线迅速的多。

（6）它们的穿透能力大不相同，电子射线的穿透能力比X射线弱的多。这是由于电

子穿透能力有限，比较适合于用来研究微晶、表面、薄膜的晶体结构。由于物质对电

子散射强，所以电子衍射束的强度有时几乎与透射束相当。所以电子衍射要考虑二次

衍射和其他动力学效应；而X射线衍射中次级过程和动力学效应较弱，往往可以忽

略。

图1单晶体、多晶体及非晶态得电子衍射花样

（a）单晶c-ZrOb）多晶Auc）SiN陶瓷中的非晶态晶间相）

二、电子衍射原理

晶体的衍射条件（布拉格定律）：晶体内部排列成规则的点阵，

（一）布拉格定律

由X射线衍射原理得出布拉格方程的一般形式：

这说明，对于给定的晶体样品，只有当入射波长足够短时，才能产生衍射。而对

于电镜的照明源——

高能电子束来说，比X射线更容易满足。通常的透射电镜的加速电压为100～

－2－30

200kV，即电子波的波长为10～10nm数量级，而常见晶体的晶面间距为10～10

－1nm数量级，于是：

这表明，电子衍射的衍射角总是非常小，这是它的花样特征之所以区别X射线衍

射的主要原因。