《测试技术与传感器》课件第12章.ppt

微机电系统技术以及纳米技术在生物传感器上的应用，使生物传感器不断向微型化、集成化、自动化和智能化方向发展。例如，在酶传感器中，尖端直径达1μm以下的微酶电极已在实验室中应用。3)物理微传感器物理传感器是指将被测对象的各种物理特性变化转换为电信号输出的装置。物理传感器种类繁多，如声学量传感器、电学量传感器、磁学量传感器、光学量传感器、力学量传感器和射线传感器等。利用微机电技术制成的各种物理传感器即是物理微传感器。12.3.2典型微型传感器介绍1.离子传感器(化学型)离子传感器是将溶液中的离子活度转换为电信号的传感器。其基本原理是利用固定在敏感膜上的离子识别材料有选择性地结合被传感的离子，从而发生膜电位或膜电压的改变，达到检测目的。离子传感器广泛用在化学、医药、食品以及生物工程等领域中。传统方法采用离子选择电极(ISE)进行测量。离子选择电极是一种膜电极，多为玻璃电极，输出阻抗很高，约108Ω，需要高输入阻抗的离子计与之匹配，在使用中很不方便。目前，通过半导体平面工艺技术制成了离子敏场效应晶体管(ISFET)；通过微机电系统技术的综合应用，制成了尖端达微米级的离子选择性微电极以及被测样品用量仅需微升级的离子微传感器。1)ISFET的工作原理ISFET用对离子有选择性响应的敏感膜替换普通的MOSFET的金属铝栅，当敏感膜