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百级无尘车间洁净空调的设计要求

1、主要设计参数

根据生产工艺要求及FS209E的相关规定，并参考《洁净厂房设

计规范》GBJ73-84。如下设计：

序号名称洁净等级温度湿度换气次数照度

1洁净室10021±260±5400800

2清洗房1000/10021±2＜70190800

3更衣室100021±2＜7080400

2、洁净空调系统设计，洁净空调换气次数

100级：换气次数为400次/小时（断面风速0.36m/s）

1000级：换气次数为80次/小时

10000级：换气次数为40次/小时

100000级：换气次数为25次/小时

3、洁净室冷负荷

夏季冷负荷包括围护结构负荷、人员负荷、照明负荷、生产设备

负荷、空调机组内风机负荷、新风负荷等。其中，生产设备一项由甲

方提供设备功率和设备的排气量。经计算，主洁净室面积指标

1170W/m2，清洗房面积指标1220W/m2。

4、洁净室的新风量和送风量

新风量综合考虑人员卫生所需风量、生产设备排风量、维持洁净

室正压所需风量，经计算得出。100级洁净室空调送风量由冷负荷和

焓差经计算得出。而1000级以下洁净室的空调送风量除由冷负荷和

焓差的计算值外，还需考虑洁净换气次数，取二者的最大值。之所以

与100级洁净室不同，是由于空调方式不同。

5、100级主洁净室（包括清洗房）的空调方式

采用PAHU+AHU+FFU的空调方式，其中：PAHU为新风处理

机组，AHU为空气处理机组，FFU为带风机的高效过滤器系统中加

PAHU，洁净室正压由PAHU风机马达变频控制，同时使室外环境

的变化对洁净室的影响减小，对洁净室的温、湿度控制有利。每个车

间均为独立空调系统。净化空调机组AHU将从室内抽回的回风与新

风机组PAHU处理过的新风混合，经过滤、冷却、加湿等处理后，

送至洁净室天花板上的空间，再与由回风技术夹墙回到天花板上的室

内空气混合经FFU送到室内。生产设备的局部排风由排风机排至室

外。洁净室气流组织为上送下回单向流，天花上基本布满FFU送风，

地板采用开孔率为18%的架空地板，部分地板有调节阀，以调节气

流的流型。

6、1000级更衣室和小清洗房

辅助洁净车间采用AHU加末端高效过滤器的空调方式。在空调

送风量由冷负荷和焓差的计算值小于由换气次数的计算值很多时，采

用二次回风，以便洁净室的温、湿度控制，同时减小空调机组的初投

资。

7、空气处理

洁净室的新风经PAHU的初、中效过滤后，再经冷却盘管处理

后送给AHU。冷却盘管的冷却功能在新风需除湿时由中央冷源提供

冷冻水实现。

新、回混合风经AHU的过滤、冷却、加热、加湿处理：

a.冷却：由中央冷源提供冷冻水流经AHU盘管实现冷却功能。

b.过滤：空气经置于AHU内的初、中效过滤器的过滤，再经末

端高效过滤器送至室内。

c.加热：由装在送风管中的电加热器实现加热功能，电加热器在

此系统中只起辅助作用。

d.加湿：干蒸汽加湿器通过安装于送风管中的蒸汽喷管向空气中

加湿。加湿器为电热式，其供水为RO水。

8、冷源设置和空调水系统

工程中空调设备采用螺杆式冷水机组，冷媒为R134a，冷冻水

供回水温度7℃/12℃。空调水系统为一次泵变水量水系统，根据系

统的水量的变化情况控制泵的运行台数，实现系统经济运行，同时供、

回水主管之间设有压差旁通控制，保证供、回水压差的恒定及有足够

的水流过冷水机组的蒸发器。

9、自动控制系统