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气敏传感器

气敏传感器是一种检测特定气体的传感器，用来检测气体类别、浓

度和成分。它主要包括半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电

化学气敏传感器等，其中用的最多的是半导体气敏传感器。它的应用主

要有：一氧化碳气体的检测、瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟利昂

（R11、R12）的检测、呼气中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。

它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的

强弱就可以获得与待测气体在环境中的存在情况有关的信息，从而可以

进行检测、监控、报警；还可以通过接口电路与计算机组成自动检测、

控制和报警系统。

由于气体种类繁多,性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类

别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传

感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导

体气敏传感器，因此本文主要讲述半导体气敏元件的有关原理及应用。

半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时，产生的电

导率等物理性质变化来检测气体的。

按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入

到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型，前者半导体表面吸附的

气体与半导体间发生电子接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生

变化，但内部化学组成不变；后者半导体与气体的反应，使半导体内部

组成发生变化，而使电导率变化。

按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型，电阻型

半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的

成分或浓度；非半导体式气敏元件则是根据气体的吸附和反应，使其某

些关系特性发生改变，来对气体进行直接或间接的检测，如二极管伏安

特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。表1为半导体

气敏元件的分类：

表1半导体气敏元件的分类

气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温

度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶

劣，而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，

往往会使其性能变差。但气敏元件不管其种类，应用范围如何，都必须

有下列要求：

1.对气体的敏感现象是可逆的。

2.单位浓度的信号变化量大。

3.能检测出的下限浓度低。

4.响应重复特性好。

5.选择性好，即对被测气体共存的其他气体不敏感。

6.对周围环境的依赖性小。

7.性能长期稳定，结构比较简单。

气敏元件的结构

气敏元件的结构主要由三部分组成：1.气体敏感元件，2.对敏感元

件进行加热的加热器支持上述部件的封装部分。下图：

（a）某气敏传感器的整体结构（b）元件内部示意图

其中最重要的为气体敏感元件。气敏元件是气敏传感器的核心，它

有三种结构类型：烧结体型，薄膜型和厚膜型。

(a)烧结型气敏器件；(b)薄膜型器件；(c)厚膜型器件

(a)为烧结型气敏元件。这类器件以SnO半导体材料为基体，将铂电

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极和加热丝埋入SnO材料中，用加热、加压、温度为700~900℃的制陶

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工艺烧结成形。因此，被称为半导体陶瓷，简称半导瓷。半导瓷内的

晶粒直径为1μm左右，晶粒的大小对电阻有一定影响，但对气体检测灵

敏度则无很大的影响。烧结型器件制作方法简单，器件寿命长；但由于

烧结不充分，器件机械强度不高，电极材料较贵重，电性能一致性较

差，因此应用受到一定限制。

(b)为薄膜型气敏元件。它采用蒸发或溅射工艺，在石英基片上形成

氧化物半导体薄膜（其厚度约在100nm以下），制作方法也很简单。实

验证明，SnO半导体薄膜的气敏特性最好，但这种半导体薄膜为物理

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性附着，因此器件间性能差异较大。