集成式多通道SQUID芯片 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN113937213A

(43)申请公布日2022.01.14

(21)申请号CN202111356064.1

(22)申请日2021.11.16

(71)申请人宁波大学

地址315211浙江省宁波市江北区风华路818号

(72)发明人孔祥燕张志聃王海

(74)专利代理机构31219上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人余明伟

(51)Int.CI

H01L39/02

H01L39/22

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

集成式多通道SQUID芯片

(57)摘要

本发明提供一种集成式多通道

SQUID芯片，所述集成式多通道SQUID

芯片包括若干相互间隔设置的通道，若干

所述通道按照n×n阵列排布，n≥2；各所述

通道中的电路系统均为基于外部反馈模式

的电路系统，其中的拾取线圈、输入线圈

及二级反馈线圈首尾串联形成磁通探测回

路，SQUID器件与所述输入线圈耦合，所

述SQUID器件两端引线分别与运算放大器

两输入端连接，所述运算放大器输出端依

次连接有反馈电阻和一级反馈线圈，所述

一级反馈线圈与二级反馈线圈耦合，用于

传输反馈信号。本发明的集成式多通道

SQUID芯片实现芯片的集成化与系统的小

型化，同时达到了通道之间串扰率低于

0.1％的目标，并提高了整个系统空间分辨

率。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2022-02-01实质审查的生效实质审查的生效

2022-01-14公开发明专利申请公布

权利要求说明书

1.一种集成式多通道SQUID芯片,其特征在于,所述集成式多通道SQUID芯片包括

若干相互间隔设置的通道,若干所述通道按照n×n阵列排布,n≥2;各所述通道中的电

路系统均为基于外部反馈模式的电路系统,所述基于外部反馈模式的电路系统包括

拾取线圈、输入线圈、SQUID器件、运算放大器、一级反馈线圈及二级反馈线圈,

其中,所述拾取线圈、所述输入线圈及所述二级反馈线圈首尾串联形成磁通探测回

路,所述SQUID器件与所述输入线圈耦合,所述SQUID器件两端引线分别与所述运

算放大器两输入端连接,所述运算放大器输出端依次连接有反馈电阻和所述一级反

馈线圈,所述一级反馈线圈与所述二级反馈线圈耦合,用于传输反馈信号。

2.根据权利要求1所述的集成式多通道SQUID芯片,其特征在于:相邻所述通道之间

中心距离5mm,所述集成式多通道SQUID芯片的面积10mm

2

。

3.根据权利要求2所述的集成式多通道SQUID芯片,其特征在于:所述通道的数量为

四个,四个所述通道按照2×2阵列排布,相邻所述通道之间的中心距离为3.43mm。

4.根据权利要求3所述的集成式多通道SQUID芯片,其特征在于:四个所述通道中的

所述磁通探测回路均为正方形结构,其中,所述输入线圈位于所述正方形结构的一角,

所述二级反馈线圈有两组,分别位于所述输入线圈两侧的所述正方形结构的两边上,

所述拾取线圈位于所述正方形结构的另外两边上。

5.根据权利要求4所述的集成式多通道SQUID芯片,其特征在于:四个所述磁通探测

回路关于阵列中心对称分布,且对应的四个所述输入线圈的位置均远离所述阵列的

中心。

6.根据权利要求5所述的集成式多通道SQUID芯片,其特征在于:所述输入线圈的结

构和两组所述二级反馈线圈的结构均为双环反向结构,所述双环反向结构是由两个

相互连接的平面螺旋线圈组成的中心对称式结