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MEMS的主要材料及其性能参数

二、主要内容

1.小MEMS的主要材料及其性能参数

1.1材料选择原则

1.2硅材料

1.3聚合物材料

1.4金属材料

1.5陶瓷材料

2.编号或项目符号

1.材料选择原则：

2.硅材料：

?硅是MEMS中最常用的材料

?可通过硅工艺进行加工

3.聚合物材料：

?聚合物材料具有轻质、柔韧、易加工等优点

?常用于MEMS的封装和连接部分

4.金属材料：

?常用于MEMS的电极和导线部分

5.陶瓷材料：

?常用于MEMS的支撑结构和封装材料

3.详细解释

1.材料选择原则：

2.硅材料：

3.聚合物材料：

4.金属材料：

5.陶瓷材料：

三、摘要或结论

四、问题与反思

①MEMS材料的选择对MEMS的性能有何影响？

②如何优化MEMS材料的加工工艺？

③如何提高MEMS材料的可靠性？

[1]，.微机电系统（MEMS）材料及其性能研究[J].电子科技大学学报，2018，37（2）：15.

[2]，赵六.MEMS材料选择与加工技术综述[J].电子元件与材料，2019，38（4）：16.

[3]陈七，刘八.微机电系统（MEMS）封装技术及