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基于压电陶瓷的横向微动平台的设计与优化

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摘要

近几年，在微位移仪器中，压电陶瓷驱动器走进人们视野，由于其体积小、推力大、精度高等优势，在市场中得到了人们的青睐，并且发展迅速。压电陶瓷是一类具有压电特性的电子陶瓷材料，主要用于制造超声换能器、水声换能器、电声换能器、陶瓷滤波器、陶瓷变压器、陶瓷鉴频器、高压发生器、红外探测器、声表面波器件、电光器件、引燃引爆装置和压电陀螺等。基于压电陶瓷的横向微动设计涉及到控制系统、定位系统、补偿控制器等，并可以通过PID控制算法设计能够使压电陶瓷的运动得到优化。

本文研究采用了文献查阅法，通过互联网对基于压电陶瓷的横向