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《基于微纳加工的高灵敏度微波湿度传感器设计方法研究》

一、引言

随着科技的不断发展，湿度传感器的应用越来越广泛，其精确度和灵敏度对于许多领域如环境监测、工业生产、医疗保健等至关重要。微波湿度传感器作为一种新型的湿度测量设备，因其高灵敏度、快速响应和非接触式测量等优点，在众多应用中逐渐受到关注。本文将针对基于微纳加工的高灵敏度微波湿度传感器设计方法进行研究，旨在提高其性能并拓展其应用范围。

二、微纳加工技术概述

微纳加工技术是一种先进的制造技术，能够制造出微米甚至纳米级别的结构。在微波湿度传感器设计中，微纳加工技术主要用于制造传感器内部的敏感元件和电路。通过微纳加工技术，可以制造出具有高比表面积