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216|工程设计|EngineeringDesign2017年1月

半导体厂房空调、净化系统设计探讨

吕纯

（上海先进半导制造股份有限公司，上海200233）

摘要：伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进，许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中，有效推动了

工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例，首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方

案，且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验，归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点，

以期为相关应用设计及研究提供理论参考。

关键词：半导体厂房；空调净化系统；设计

[U260.8+1]A20962789201701021602

中图分类号：文献标志码：文章编号：-（）--

DOI:10.19537/j.cnki.2096-2789.2017.01.468

电子工业乃是我国经济现代化当中不可获取的重要为ISO7级，从工艺要求层级来分析，此种类型的房间，

支撑力，而以集成电路为其代表的半导体芯片制造业而需采取ISO7级的标准，设置成净化洁净室。在净化空调

言，其是电子工业发展的基础与核心。芯片性能好坏与系统的选用方面，需为末端高效过滤器风口、循环空调机

工艺技术及设计的严格性、合理性及先进性息息相关，组及新风集中处理相结合的空调方式。新风机组功能段：

而芯片可靠性及成品率，则与加工制造环境的洁净度及新风入口、中效过滤器、一级、二级表冷盘管及新风出口

制作材料的纯度相关，尤其是伴随当今纳米加工技术的等。而循环机组的气流形式，以及其功能段操作步骤则为：

不断发展与广泛应用，超净环境及超纯材料已然成为半回风混合、送风管、风机、洁净区、房间侧下百叶同风口、

导体工业进步与创新的关键。通过对半导体厂房的空调、回风管及新回风混合。因在工艺设备的维护及安装等方面

净化系统设计进行分析，找寻出一条更为系统化、合理的要求，其中的生产前区及后区见在布置回风夹道，存

有效的设计方案。有相应困难，可在两区域相应中间位置处，也就是地面

与隔墙中间，预留些许缝隙，然后则依据压力要求，计

1半导体厂房空调、净化系统分析

算缝隙高度，针对生产前区相应送风而言，则经过此缝隙，

空调、净化空调系统的设计工作，乃与生产的流程及将其送入至相应后区，然后，所送入的风则通过回风口，

工艺布局之间存在紧密关联。对于用途不同及类型不同输送至回风管，再将其向循环空凋机组送回。

的厂房空调及净化系统而言，其自身特点也存有差异性。（3）新风空调系统原理。新风空调系统原理图如图

现对某半导体工厂处于生产工序的净化及空调系统方案1所示。针对其他而言，则对于送风品质具有比较高的要

作以分析。求，另外，在工艺方面，选用图1所示的空调原理。针

1.1前工序空调净化系统分析对与洁净区相应空调原理较为相似的，可参照图1当中

对于前工序而言，其对于室内空气的品质，具有较高生产前区的空调原理。

的要求，不仅对房间的湿、温度具有较高要求，而且对1.2后段工艺空调净化系统分析

于整个方面的洁净度更高的要求。针对此种要求的房间，