电池行业研究：复合集流体2，设备与工艺篇(202305).pdfVIP

行业观点：

1、PP、PET路径切换对设备有何影响？

PET基材在电池高温循环中，溶质易与溶剂反应生成氢氟酸，由于其耐酸耐碱能力较差，容易被腐蚀，进而导致高温

循环跳水，需做电解液改性，但性能天花板有限。PP化学性质更为稳定，但结合力差、质地软，对磁控溅射的张力控

制等参数要求更高，需要通过设备升级及工艺Know-how把控。同时，磁控部分难度加大后，进一步影响后续水镀品

质及效率，整体工艺难度显著加大，产品指标需满足结合力卷长要求。

2、未来设备端如何提升效率、降本?

幅宽基本相对匹配，走速是核心指标。相对来看，PET磁控环节比较容易提升走速，可达到10m/s以上。但由于PP

路径的切入，磁控环节将首要强调品质的兑现，后续提升效率的方式包括增大功率、增加靶材数量等，而品质也会反

向制约效率。因此，在PP路径下，磁控显著提升速率的难度更大，应尽可能能缩小磁控的厚度。水镀环节将是提升

效率重要环节，方式包括增加铜槽数量等。

3、设备供应链有哪些替代空间？

真空镀设备中，电源、真空泵目前价值量占镀膜设备成本25%、20%，国产替代空间较大，我们预计2025年复合集流

体真空泵市场空间9.6亿元，2030年市场空间33.3亿元，电源市场2025年12亿元，2030年41.6亿元，我们参考

华经产业研究院数据，预计2025年真空泵市场空间合计为152.6亿元，电源市场空间合计为107.6亿元，2030年复

合集流体带来的真空泵、电源市场较2025年总市场空间拉动弹性为21.8%、38.7%。水镀环节零部件国产化率较高基

本无瓶颈。电镀：供应链成熟，无产业链瓶颈。电镀设备主要由五金件、电器类、结构件、槽体类、整流机、机械手

等组成，其中五金、电器、整流机为核心部分。总体来看，电镀环节的上游零部件产业化较为成熟，基本实现了国产

化替代。

投资建议：

复合集流体对设备端的技术要求伴随需求逐步提升，建议关注电镀设备龙头厂商东威科技，一体化镀膜设备厂道森股

份，汇成真空（拟上市），以及真空泵、电源等细分赛道，对应公司为汉钟精机（真空泵）、英杰电气（电源）等。

风险提示：

复合铜箔产业化进展不及预期;半导体领域需求不及预期；竞争格局恶化风险等

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行业深度研究

内容目录

一、品质：基膜的路线切换，影响如何？4

二、效率：设备如何进一步迭代9

2.1磁控溅射9

2.2水电镀10

三、供应链：设备端的供应链分析10

四、投资建议18

五、风险提示19

图表目录

图表1：PP、PET材料对比4

图表2：PET/PP分子结构示意图4

图表3：卷绕式磁控溅射镀膜机5

图表4：张力对镀膜质量的影响5

图表5：张力控制模型原理5

图表6：张力控制原理5

图表7：薄膜组织的四种典型断面结构6

图表8：衬底相对温度和溅射气压对薄膜组织的影响6

图表9：正交试验基膜结合力极差分析6

图表10：影响镀层与基体结合强度的工艺参数7

图表11：电源波形对镀层结合力的影响7

图表12：蒸镀与磁控溅射纯Al薄膜结合力比较（低碳钢Q235基体）8

图表13：高导电性电子铜箔（MC）生产工艺流程8

图表14：薄膜表面处理方法9

图表15：反应离子刻蚀工艺下的剥离强度9

图表16：不同气压对应的沉积速率9

图表17：水电镀提升效率途径10

图表18：真空镀膜设备构成11

图表19：双面磁控溅射构成11

图表20：真空镀膜设备构成与作用12

图表21：真空镀膜成本构成12

图表22：真空镀膜原材料成本构成12

图表23：真空类型13

图表24：2019年全球真空泵下游领域13

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