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摘要
题目：透明导电层ITO薄膜的制备与应用
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摘要
ITO薄膜是一种光电功能材料，因为其优异的光电性能，被许多电子行业所应用，主要应用于显示器、触摸屏和太阳能电池。然而，影响薄膜光电性能的因素和机理仍然存在，许多研究者对其进行了深刻的探讨。随着光电转换、亮度等相关领域的深入研究，制备过程中的氧气和氩气的比例以及溅射过程中的压力和温度等，都是制备ITO薄膜的重要因素。其中制备过程中的氧流量与ITO薄膜中的载流子氧空穴有关。因此，在这些条件下对氧进行了讨论，寻找制备ITO含氧量的最佳条件，以尽可能降低功率，制备高性能、低粗糙度的ITO薄
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