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《低周期非线性误差外差光栅干涉测量技术研究》

一、引言

在当今的精密测量领域，光栅干涉技术以其高精度、高分辨率和非接触式测量的特点，得到了广泛的应用。然而，低周期非线性误差的存在，对光栅干涉测量的精度和稳定性造成了影响。因此，研究低周期非线性误差外差光栅干涉测量技术，对于提高测量精度和稳定性具有重要意义。本文将探讨该技术的原理、方法及实验结果，以期为相关领域的研究提供参考。

二、外差光栅干涉测量技术原理

外差光栅干涉测量技术是一种基于光学干涉原理的测量技术。其基本原理是利用两束或多束光波在光栅上产生干涉，通过测量干涉信号的相位差来获取被测物体的信息。在低周期非线性误差的条件下，外差光栅干涉测量