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铸锭多晶硅用熔融石英陶瓷坩埚的性能与市场

祝大同

摘要：石英陶瓷坩埚是太阳能电池用多晶硅铸锭过程中作为装载硅原料的容器。太阳能光伏产业的高速开展为石英陶瓷坩埚提供了广阔的市场前景。本文在石英陶瓷坩埚的特性、石英陶瓷坩埚对重要原材料熔融石英的性能要求，以及石英陶瓷坩埚应用及市场情况做了调查、阐述。

关键词：石英陶瓷坩埚，铸造多晶硅，太阳能电池，熔融石英

PropertiesandMarketofFusedSilicaCruciblesinMulti-crystallineSiliconIndustryApplication

ZHUDATONGLUJIN

Abstract:FusedSilicaCruciblesisacontainerloadingsiliconrawmaterialsintheprocessofsolarcell’spoly-siliconingot.TherapiddevelopmentofsolarenergyPVindustryprovidesabroadmarketprospectforFusedSilicaCruciblescompanies.Thistextexpatiatedandinvestigatedseveralaspectsincludingthe?characteristicsofFusedSilicaCrucibles,the?characteristicsoffusedsilicaofFusedSilicaCruciblesrequestandtheapplicationandmarketsituationofFusedSilicaCrucibles.

Keywords:FusedSilicaCrucibles，multi-crystallinesilicon〔mc-Si〕，solarcell,fusedsilica

1．铸锭多晶硅制造用石英陶瓷坩埚的特性

1．1石英陶瓷坩埚已成为开展多晶硅铸锭的重要配件

世界及我国太阳能光伏产业的急速开展，驱动了太阳能多晶硅用关键配套材料需要量的迅猛增长。在开展太阳能多晶硅中，许多为之生产制造配套的新型材料，近年无论是技术上还是在生产量都得到了令人嘱目的开展。这其中就有用于多晶硅铸锭和熔炼提纯用的石英陶瓷坩埚产品。

石英陶瓷坩埚〔FusedSilicaCrucibles〕是太阳能电池用多晶硅铸锭过程中用来装载多晶硅原料、在1550℃的高温下使之熔化结晶生产出多晶硅硅锭的容器。它目前已是多晶硅铸锭生产中需求量很大的一种消耗品。太阳能光伏产业的高速开展为石英陶瓷坩埚提供了广阔的市场前景。面对当前高纯度多晶硅原料供不应求的局面，铸锭多晶硅在原料使用上有更大优势，国际上也是多晶硅太阳能电池占有很大的比例，由此近两年我国铸锭多晶硅生产更快速地开展。石英陶瓷坩埚作为开展多晶硅铸锭中不可替代的关键配套部件，其需求量也随着得到了快速的增长。[1][2

1．2石英陶瓷坩埚与石英玻璃坩埚的差异

在半导体、光伏行业使用的硅材料在生产制造过程中有两大类常用的硅锭容器，即石英玻璃坩埚和石英陶瓷坩埚。

石英陶瓷坩埚使用高纯熔融硅微粉所制成。它的主要化学成分是：二氧化硅〔SiO2〕99.0%，三氧化铝〔Al2O3〕0.5%，氧化钙〔CaO〕0.5%。由于它的组成份与石英玻璃坩埚有较大的差异，因此这两类硅锭容器在应用领域、工艺特点、技术性能等方面都有着较明显的差异〔见表1所示〕。[3][4]

表1两类硅锭容器在原材料、应用、性能等方面的差异

石英玻璃坩埚

石英陶瓷坩埚

使用材料基体

玻璃

石英

使用的主要原材料

高纯石英砂的单一组份

以熔融硅微粉为主要〔占99%〕的多组份〔还包括Al2O3、CaO〕。

制造的工艺特点

采用玻璃生产工艺

采用高级陶瓷生产工艺，其晶相为晶体和玻璃体

应用领域

在拉单晶中使用

于用多晶硅的铸锭

坩埚主要性能

密度/(g/cm3)

2.07~2.12

1.90–2.00

抗压强度/MPa

1150

50

抗拉强度/MPa

50

20

抗弯强度/MPa

67

27–30

莫氏硬度

5.5~6.5

7

显气孔率

0

10-11%

结晶度

—

方石英1%

1．3石英陶瓷坩埚的性能特点

〔1〕力学性能特点

陶瓷是脆硬性材料，其抗拉强度很低而抗压强度较高。性能测试与试样的内在质量和外表状态关系密切，一些显微缺陷和外表粗糙度对测试结果有很大影响。

〔2〕易于实现尺寸大型化

石英陶瓷坩埚比石英玻璃坩埚易于制成部品的大型化，这对生产