GB/T 44517-2024微机电系统(MEMS)技术　MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法.pdf

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

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GBT445172024IEC62047-162015

微机电系统()技术膜残

MEMSMEMS

余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

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IEC62047-162015SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

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2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT445172024IEC62047-162015

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验方法…………………1

4.1概述…………………1

4.2晶圆曲率法…………………………2

4.3悬臂梁挠度法………………………3

参考文献……………