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- 2025-01-02 发布于四川
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- | 2024-10-26 颁布
- | 2025-02-01 实施
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ICS
31.080.99
CCS
L59
中华人民共和国国家标准
GB/T44839—2024/IEC62047﹘10:2011
微机电系统（MEMS）技术
MEMS材料微柱压缩试验方法
Micro-electromechanicalsystems（MEMS）
technology—
Micro-pillarcompressiontestforMEMSmaterials
（IEC62047-10:2011,Semiconductordevices—Micro-electromechanical
devices—Part10:Micro-pillarcompressiontestforMEMSmaterials,IDT）
2024-10-26发布2025-02-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
GB/T44839—2024/IEC62047﹘10:2011
目次
前言
Ⅲ
·····································································································
1
范围
1
··································································································
2
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