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摘要
摘要
随着显示技术的发展,人们对于显示器的要求越来越高。非晶金属氧化物
半导体因其具有可低温制备、均一性好、光学带隙宽、迁移率高和可弯曲等特
点被认为是用于下一代高清透明柔性显示器的重要材料之一。近年来大多数报
道的氧化铟锌(IZO)基薄膜晶体管(TFT)的迁移率性能足以满足高清显示,于是研
究目标逐渐转为追求优秀的综合性能。目前对于器件稳定性的研究相对较少,
高价阳离子的掺入可以通过降低薄膜内氧空位浓度从而提升器件的稳定性
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