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ApplicationNote
TDMATPrecursorMonitoringwithaQuartzCrystal
Microbalance
Introduction
®
INFICONisanindustrypioneerforsemiconductorfaultdetectionandclassification(FDC)withtheFabGuardprocessmonitor.INFICONis
alsothemarketandtechnologyleaderandinnovatorforquartzcrystalmicrobalance(QCM)sensors,monitorsandcontrollers.Leveraging
thesetwocorecompetenciesandapplyingthemtosemiconductorapplicationsoffersanaffordablemonitorcapableofverifyingTDMAT
deliverytoTxZchambers.
TheTxZProcess
TxZmetalorganicchemicalvapordeposition(MOCVD)isawidespreadprocessfordepositingbarriermetalfilmsforsemiconductor
processingofboth200mmand300mmwafers.TxZchambersaretypicallyfoundmountedtothetransferchamberoftheApplied
®®
MaterialsEnduramainframeandareaCVDEvolutionoftraditionalphysicalvapordeposition(PVD)oftitaniumnitride(TiN).PVDTiN
usesasolidmetaltargetoftitaniumasitssourcethatissputteredinthepresenceofnitrogenanddepositedontoawafer’ssurface.TxZ
MOCVD,usesaliquidmetalorganicprecursor,calledtetrakis(dimethylamido)titanium(TDMAT),asitstitaniumsource.Thissourceusesa
carriergastobubblethroughtheliquidTDMATprecursorandcarrythemetalorganictothedepositionchamber.TheTDMATiscontained
withinanampouleoffinitevolumethatneedstobechangedoutfrequentlybeforedepletion.Overthepastdecademanywafershavebeen
scrappedworldwideduetolowTDMATampoulelevels,resultinginhighercostsandyieldlossesforfabricationfacilities.
QuartzCrystalMicrobalance(QCM)
TheQCMisapiezoelectricquartzcrystaltransducer.Byexploitingthereversepiezoelectriceffectthequartzcrystalismadetooscillateby
theapplicationofavoltageacrossthecrystalfaces.Thefreque
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