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真空技术

真空泵的分类及工作原理

2013.05.01

真空泵的分类

往复式真空泵

容积真空泵

1.旋转式真空泵

气

体

传

输分子真空泵

泵

动量传输泵喷射真空泵

扩散泵

真空泵的分类

2.吸附泵

气

体

捕

集

泵

低温泵

一.气体传输泵

•按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集

泵两种类型。

•气体输送泵包括：1、液环真空泵2、往复式真空

泵3、油封机械泵4、罗茨真空泵5、干式真空泵

等。

•气体捕集泵包括：1、低温泵2、离子溅射泵3、

分子筛吸附泵4、钛升华泵5、电离升华泵6、锆

铝合金吸气泵等。

1.液环式真空泵

•如图：在泵体中装有适量的水作为

工作液。当叶轮按图中顺时针方向

旋转时，水被叶轮抛向四周，由于

离心力的作用，水形成了一个决定

于泵腔形状的近似于等厚度的封闭

圆环。水环的下部分内表面恰好与

叶轮轮毂相切，水环的上部内表面

刚好与叶片顶端接触（实际上叶片

在水环内有一定的插入深度）。此

时叶轮轮毂与水环之间形成一个月

牙形空间，而这一空间又被叶轮分

成和叶片数目相等的若干个小腔。

如果以叶轮的下部0°为起点，那

么叶轮在旋转前180°时小腔的容

积由小变大，且与端面上的吸气口

相通，此时气体被吸入，当吸气终

了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮

继续旋转时，小腔由大变小，使气

体被压缩；当小腔与排气口相通时，

气体便被排出泵外。

2.往复式真空泵

运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。

当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减

小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最

右位置时，气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关

闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大

于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左

向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力。

3、油封机械泵

油封式真空泵：它是利用油类密封各运

动部件之间的间隙，减少有害空间的

一种旋转变容真空泵。这种泵通常带

有气镇装置，故又称气镇式真空泵。

在泵壳内装有一个与泵内表面

靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始

终与转子表面接触的径向滑片，当转

子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分

成两个可变容积。

4、罗茨真空泵

罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二

个“8”字形的转子相互垂直地安装在

一对平行轴上，由传动比为1的一对齿

轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在

转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持

有一定的间隙，可以实现高转速运行。

由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，

通常压缩比很低，故高、中真空泵需要

前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵

本身结构和制造精度外，还取决于前级

泵的极限真空。为了提高泵的极限真空

度，可将罗茨泵串联使用。

5、干式真空泵

爪形转子干式真空泵（又简称爪

式泵）在泵壳内具有两个共轭

啮合的爪形转子。与罗茨真空

泵类似，转子由一对同步高精

度齿轮来带动旋转并固定相位。

转子型线由六段摆