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2023年大直径硅单晶及抛光片项目可行性评估方案.docx

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    大直径硅单晶及抛光片项目可行性评估方案

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    大直径硅单晶及抛光片项目可行性评估方案

    目录

    TOC\h\z29719序言 3

    2856一、大直径硅单晶及抛光片项目建设单位基本情况 3

    29141(一)、大直径硅单晶及抛光片项目建设单位基本情况 3

    14879(二)、大直径硅单晶及抛光片项目主管单位基本情况 5

    11387(三)、大直径硅单晶及抛光片项目技术协作单位基本情况 7

    29485二、工艺方案的选择 8

    1912(一)、基本要求 8

    3169(二)、典型工艺技术介绍 10

    19247(三)、大直径硅单晶及抛光片项目组成

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