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直拉单晶硅工艺技术
主讲教师：裴迪
石油化工学院
1
第二章直拉单晶炉
第二章直拉单晶炉
直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。
炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。
炉体一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石
墨加热器和石墨保温套构成的热场。
籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉
内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。
下轴顶端装有石英坩埚，埚内可装入多晶硅料
以供拉晶用
直拉单晶炉的需求
为了提高生产效率，降低成本，也为了保证器件参数
的一致性、可靠性，都希望拉单晶大径化，设备控制
高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上
，单晶径达300mm以上，从抽空到拉晶结束全部自动化
控制，且稳定性、可靠性极好的大型拉单晶设备。为了
提高单晶的内在质量或者某方面参数的特殊要求，也出现
了磁场法拉单晶炉和具有两个主炉室的连续加料拉单
晶炉等。
直拉单晶炉的改良
1.为了缩小设备高度、增加稳定
性，目前普遍采用软轴代替原来的硬
轴；
2.为了实现重复加料及重复拉晶
，都采用一下一上两个炉室（主室和
副室）；
直拉单晶炉的改良
3.为了确保真空度和转动的稳定性，大
都在上、下轴的旋转部分安装磁流体密封。
4.为了加大了投料量，在电源、水冷及
炉压监控上，采用了多种安全保障措施和安
全装置，电气上做到了全程自动控制和数据
交换，温度自控、等径自控和安全报警等。
国内最早生产拉单晶炉的专业厂家是西
安理工大学工厂，该厂技术力量雄厚，机加工能
力很强，从事拉单晶炉主要有TDR-70、TDR-
80、TDR-90、TDR-120等多种炉型。其中，
TDR-120炉是2007年面世的，设计装料量120kg
，实现了全过程自动控制，设计上有较大的改
进。
1961年，在中国科学院半
导体物理所林兰英院士的亲
自指导下，北京机械学院工
厂（西安理工大学工厂的前
身）的技术人员与半导体物
理所的技术人员共同研制出
了我国第一台人工晶体生长
设备，TDK-36型单晶炉，
并且成功拉制出了我国第一
根无位错的硅单晶，单晶质
量接近当时的国际先进水
。
20世界80年代后期，我国半导体材料工业迅速
发展，国内半导体材料制造厂家大量引进美国
KAYEX
CG3000型软轴提拉单晶炉。为满足我国半
导体材料工业不断发展的需要，1988年西安理工大
学工厂承担了国家七五科技攻关项目，研制成功了
TDR－62系列软轴单晶炉
TDR－62系列软轴单晶炉,投料量增至30kg，
拉制单晶径125mm。该炉采用软轴提拉机构,大大
降低了设备高度。等径控制采用IRCON光学高温
计、计算机对径信号进行控制。我国区熔硅单晶
的发展也非常快,特别是75~100mm区熔硅单晶的需
求量在不断上升，为此，1989年年我们研制成功
TDL-FZ35型区熔炉。
TDL-FZ35型区熔炉，用以生产功率器件所需
75~100mm的高质量硅单晶。该设备设置有晶体夹
持机构,以保证稳定生长75~100mm单晶。在该设备
中
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