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《中国三氟化氮行业深度洞察与战略决策报告》
一、核心观点
1.1三氟化氮,电子产业关键支撑
三氟化氮在电子和半导体等行业中起着至关重要的作用。它是一种强氧化剂,在微电子工业中作为优良的等离子蚀刻气体,对硅和钨化合物具有优异的蚀刻速率和选择性,同时也是非常良好的清洗剂。在半导体制造中,化学气相沉积机台需要使用含氟气体进行清洗,而三氟化氮就是其中的重要选择之一。随着纳米技术和电子工业的大规模发展,三氟化氮的需求量日益增加。例如,根据数据显示,2022年全球三氟化氮行业产能约为43096吨,需求量约为43620吨。在我国,2022年中国三氟化氮行业市场规模约为20.52亿元,产量约
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