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(2)电阻电桥细分法(矢量和法)用此信号去触发施密特电路电阻电桥细分法用于10细分030201忽略高次项:提高一倍上式中不存在偶次项,显然差动式自感传感器的非线性误差在±Δδ工作范围内要比单个自感传感器的小得多。差动式与单线圈电感式传感器相比,具有下列优点:线性好;灵敏度提高一倍,即衔铁位移相同时,输出信号大一倍;温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器精度的影响,由于能互相抵消而减小;电磁吸力对测力变化的影响也由于能相互抵消而减小。气隙型自感传感器灵敏度高,它的主要缺点是非线性严重,为了限制线性误差,示值范围只能较小;它的自由行程小,因为衔铁在运动方向上受铁心限制,制造装配困难。A截面型自感传感器灵敏度较低,截面型的优点是具有较好的线性,因而示但范围可取大些。B螺管型自感传感器的灵敏度比截而型的更低,但示值范围大,线性也较好,得到广泛应用。C三种类型比较:1特点:测量范围大,数百毫米,灵敏度低,大量程直线位移。3测量范围1~200mm线性度0.1%~1%分辨率0.01um2差动螺管式自感传感器螺管式自感传感器6.3电位器传感器被测量的变化导致电位器阻值变化的敏感元件称为电位器传感器。工作原理输出特性电位计式电阻传感器在实际使用时,其输出端是接负载的,如图所示。图中,RL是负载电阻,可理解为测量仪表的内阻或放大器的输入电阻;l为直线电位计的全长;R为电位计的总电阻;x为电刷的位移量;RX为随电刷位移x而变化的电阻,其值为:电阻丝骨架电刷电位器传感器的结构电位计式位移传感器6.5光栅传感器很早以前,人们就将光栅的衍射现象应用于光谱分析、测量光波波长等方面。直到20世纪50年代,才开始利用光栅的莫尔条纹现象把光栅作为测量长度的计量元件,从而出现了光栅式位移传感器,现在人们把这种光栅称为计量光栅,由于它的原理简单,装置也不十分复杂,测量精度高,可实现动态测量,具有较强的抗干扰能力,被广泛应用于长度和角度的精密测量。光栅的外形及结构215尺身尺身安装孔可移动电缆4扫描头安装孔3反射式扫描头(与移动部件固定)6防尘保护罩的内部为长磁栅光栅的外形及结构(续)扫描头(与移动部件固定)光栅尺可移动电缆6.5.1光栅传感器的结构光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成。反射式光栅透射式光栅透射式圆光栅固定钨丝灯泡:输出功率较大,工作范围较宽(-40℃到+130℃)与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时,使用寿命将降低。半导体发光器件:转换效率高,响应特征快速。 如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从而减小功耗和热耗散。光栅传感器光源:光栅副:指示光栅+主光栅a+b=W称为光栅的栅距(或光栅常数)通常情况下,a=b=W/2包括有光电池和光敏三极管等部分。在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件,以获得高的转换效率。在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。光电元件6.5.2莫尔条纹形成的原理213横向莫尔条纹的斜率莫尔条纹间距莫尔条纹的宽度BH由光栅常数与光栅夹角决定6.5.3莫尔条纹技术的特点(1)调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度,起到了 放大作用,又提高了测量精度。(2)莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,便于将电信号作进一步细分,即采用“倍频技术”。这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。(3)光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。径向光栅进行角度测量当标尺光栅相对于指示光栅转动时,条纹即沿径向移动,测出条纹移动数目,即可得到标尺光栅相对指示光栅转动的角度。透射光路反射光路6.5.4光栅的光路(1)透射式光路1-光源2-准直透镜3-主光栅4-指示光栅5-光电元件光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。特点:结构简单,位置紧凑,调整使用方便,应用广泛。(2)反射式光路上一页下一页返回1反射主光栅2-指示光栅3-场镜

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