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2025/1/121/87第四章功率集成电路工艺和器件模拟
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2025/1/123/83TCAD概念集成电路工艺和器件的计算机模拟(TechnologyCAD,简称TCAD),是利用组件与制程方面的计算机辅助设计与仿真软件进行集成电路工艺和器件的“虚拟制造”。显然它的运用可以大大缩减集成电路的研发周期和费用,从而大大提高集成电路的上市竞争力,已成为半导体工艺研发过程中不可或缺的工具。
2025/1/124/83PIC中的TCAD对于功率集成电路而言,由于
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