Delta台达工业自动化温控器DTDM高精度模块化温度控制器DTDM04, DTDM-DI DO, DTDM-ECAT系列介绍，包含产品特色、规格、应用案例与选购信息型录.pdf

創變智造新未來

高精度模組化溫度控制器

DTDM系列

高精度模組化溫度控制器DTDM系列

進階控溫功能，實現穩定精準溫控

台達高精度模組化溫度控制器DTDM系列，採用高度整合的模組化硬體設計，包括量

測主機、量測擴充機、數位輸入模組、數位輸出模組以及EtherCAT通訊模組，可依照

需求彈性組合與擴充。

該系列支援多種進階控制功能，包括PID串級控制、一對多控制、前饋控制、溫度校正

折線表等，溫度量測的誤差範圍精確至±0.1%，並支援10ms溫度採樣週期，實現快

速且高精度的溫控。

DTDM系列支援RS-485通訊介面，可使用ModbusASCII/RTU通訊協定進行資料交

換，亦可搭配使用DTDM-ECAT模組，以EtherCAT通訊協定與上位機串接，實現高

速資料傳輸。

高精度DTDM溫控器系列可滿足複雜且精密的溫度加工製程所需，特別適合半導體晶

圓加工設備，如化學氣相沉積系統(CVD)、物理氣相沉積系統(PVD)、氧化擴散爐、矽

蝕刻機、原子層沉積系統(ALD)等。

高精度

高採樣率模組化擴充

±0.1%高精度溫度輸入誤多樣化的模組選擇：量測主機、量測擴充

差，10ms溫度輸入採樣機、數位輸入/輸出模組與EtherCAT通訊

周期，精準監控溫度。模組，並可自由指派輸出接點。

進階控溫

演算法高速通訊

串級控制，雙控制迴路提升控溫精度與速可透過ModbusASCII/RTU

度；前饋控制，預先補償已知的熱量損或EtherCAT通訊協定進行資

失；溫度校正折線表，非線性溫差補償。料傳輸並與上位機溝通。

1

目錄

產品特色3

模組化設計，彈性擴充

PID串級控制

一對多控制

溫度校正折線表

前饋控制

狀態資料庫與邏輯運算

多通道PV比較警報功能

輸入切換與輸入冗餘

EtherCAT通訊

產品規格9

4通道量測機

I/O擴充模組

EtherCAT通訊模組

產品尺寸13

產品外觀14

應用案例15

化學氣相沉積

半導體乾式蝕刻

選購資訊17

台達溫度控制器系列18

2

產品特色

模組化設計，彈性擴充

量測模組I/O擴充模組通訊模組

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DTDM04MDTDM04EDTDM-DI16DTDM-DO16DTDM-DO08RDTDM-ECAT

量測主機量測擴充機數位輸入模組